P-616.65S NanoCube六轴压电陶瓷系统

用于纳米级定位和光纤对准的紧凑型并联运动压电陶瓷系统

X、Y和Z方向上的行程为±250µm
θX、θY、θZ方向上的偏摆角达±26.2mrad
并联运动设计可在所有空间方向上实现最高刚性
灵活的安装平台
可自由选择的旋转中心

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P-616.65S，尺寸单位为mm。请注意，在图中使用逗号代表小数点。

应用领域

光子学/集成光学
精密光纤定位和对准
- 光纤到光纤耦合
- 光纤到芯片耦合
- 光纤到组件耦合
- 光纤阵列对准

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

获得专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行10亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有最小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。

可自由选择的旋转中心，易于操作

软件大大简化了这一操作：可将空间中的任意点设为旋转中心，平台围绕该中心进行旋转与倾斜。旋转中心可自由定义、轻松调控，并能稳固锚定于空间某点，或在发生线性位移时跟随平台移动。随心操作由您掌控！

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数据表

版本/日期

2026-03-17

pdf - 992 KB

版本/日期

2026-03-17

pdf - 994 KB

版本/日期

2026-03-17

pdf - 1 MB

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运动	P-616.65S	公差
主动轴	X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X,Y,Z行程范围	500 µm	±0,1 %
θX, θY, θZ旋转范围	52.4 mrad	±0,1 %
X, Y, Z线性误差	0.2 %	typ.
θX, θY, θZ线性误差	0.4 %	typ.
定位	P-616.65S	公差
X, Y, Z最小位移	0.05 µm	min.
θX, θY, θZ最小位移	5 µrad	min.
X, Y, Z双向重复精度	40 nm	typ.
θX, θY, θZ双向重复精度	4 µrad	typ.
集成传感器	应变片传感器，直接位置测量
驱动性能	P-616.65S	公差
驱动类型	PICMA Plus
机械性能	P-616.65S	公差
X, Y, Z谐振频率，空载	350 Hz	±20 %
X, Y, Z谐振频率，30g负载	210 Hz	±20 %
θX, θY, θZ谐振频率，空载	350 Hz	±20 %
θX, θY, θZ谐振频率，30g负载	210 Hz	±20 %
X, Y, Z向允许的推力	30 N	max.
θX, θY, θZ向允许扭矩	0.4 N·m	max.
导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨
总质量	995 g
材料	铝、钢
其他	P-616.65S	公差
工作温度范围	-20至80 °C
接头	2 × D-sub 37针（公头）
电缆长度	2 m
推荐控制器/驱动器	—

各个坐标（X、Y、Z、θX、θY、θZ）的最大行程范围是相互依存的。当所有其他轴都处于标称行程范围的零位置并且使用默认坐标系时，或者更确切地说，当旋转中心点设置为0,0,0时，每个轴的数据显示其最大行程范围。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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