P-611.20
XY纳米定位器；行程120µm×120µm（开环）（X×Y）；LEMO接头；电缆长度1.5m
P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向纳米定位器
用于纳米定位的紧凑型双轴压电陶瓷系统
- 紧凑型： 表面44mm×44mm
- 行程达120µm×120µm
- 分辨率达0.2nm
- 经济实惠（机械本体与控制器）
- 零间隙高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
- 也可提供线性和Z向位移台以及XYZ版本
P-611.2S，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-611.XZS，尺寸单位为mm。 请注意，在图中使用逗号而非小数点。
P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向纳米定位器
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选择行程范围：
| 运动 | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X ǀ Y | X ǀ Y | X ǀ Z | X ǀ Z | |
| X向的开环行程，电压-20至120V | 120 µm | 120 µm | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| Y向的开环行程，电压-20至120V | 120 µm | 120 µm | — | — | +20 % / -0 % |
| Z向的开环行程，电压-20至120V | — | — | 120 µm | 120 µm | +20 % / -0 % |
| 线性误差 | — | 0.1 % | — | 0.1 % | typ. |
| 角度误差E_AY（俯仰角） | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| 角度误差E_BX（俯仰角） | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | typ. |
| 角度误差E_CX（偏转角） | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | typ. |
| 角度误差E_CY（偏转角） | ± 10 µrad | ± 10 µrad | — | — | typ. |
| X向的行程 | — | 100 µm | — | 100 µm | |
| Y向的行程 | — | 100 µm | — | — | |
| 角度误差E_AZ | — | — | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| 角度误差E_BZ | — | — | ± 10 µrad | ± 10 µrad | typ. |
| Z向的行程 | — | — | — | 100 µm | |
| 定位 | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | 公差 |
| X向的单向重复精度 | — | ± 10 nm | — | ± 10 nm | typ. |
| Y向的单向重复精度 | — | ± 10 nm | — | — | typ. |
| 开环分辨率 | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| 集成传感器 | — | 应变片传感器，间接位置测量 | — | 应变片传感器，间接位置测量 | |
| 系统分辨率 | — | 2 nm | — | 2 nm | typ. |
| Z向的单向重复精度 | — | — | — | ± 10 nm | typ. |
| 驱动性能 | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | |
| 电容 | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | 1,5 µF | ±20 % |
| 机械性能 | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | 公差 |
| X向的刚性 | 0.2 N/µm | 0.2 N/µm | 0.2 N/µm | 0.2 N/µm | ±20 % |
| Y向的刚性 | 0.2 N/µm | 0.2 N/µm | — | — | ±20 % |
| X向的谐振频率，空载 | 345 Hz | 345 Hz | 365 Hz | 365 Hz | ±20 % |
| 在30g负载下X向的谐振频率 | 270 Hz | 270 Hz | 280 Hz | 280 Hz | ±20 % |
| 在100g负载下X向的谐振频率 | 180 Hz | 180 Hz | 185 Hz | 185 Hz | ±20 % |
| Y向的谐振频率，空载 | 270 Hz | 270 Hz | — | — | ±20 % |
| 在30g负载下Y向的谐振频率 | 225 Hz | 225 Hz | — | — | ±20 % |
| 在100g负载下Y向的谐振频率 | 165 Hz | 165 Hz | — | — | ±20 % |
| X向的允许推力 | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| Y向的允许推力 | 15 N | 15 N | — | — | max. |
| Z向的允许推力 | 15 N | 15 N | 15 N | 15 N | max. |
| X向的允许拉力 | 10 N | 10 N | 10 N | 10 N | max. |
| Y向的允许拉力 | 10 N | 10 N | — | — | max. |
| 总质量 | 235 g | 235 g | 270 g | 270 g | ±5 % |
| 材料 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | |
| Z向的刚性 | — | — | 0.35 N/µm | 0.35 N/µm | ±20 % |
| Z向的谐振频率，空载 | — | — | 340 Hz | 340 Hz | ±20 % |
| 在30g负载下Z向的谐振频率 | — | — | 295 Hz | 295 Hz | ±20 % |
| 在100g负载下Z向的谐振频率 | — | — | 230 Hz | 230 Hz | ±20 % |
| Z向的允许拉力 | — | — | 10 N | 10 N | max. |
| 其他 | P-611.20 | P-611.2S | P-611.XZ0 | P-611.XZS | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 接头 | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | LEMO FFA.00.250.CTAC22 | |
| 电缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 | E-503、E-505、E-663、E-664、E-727 | |
| 传感器连接器 | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | — | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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产品注解
产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
版本/日期
2021-04-19
pdf - 377 KB
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数据表
文件
文件
用户使用手册PZ253
具有应变片传感器/无传感器的P-611纳米级定位系统
版本/日期
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
版本/日期
1.2.2 2022-08-24
pdf - 3 MB
文件
Unpacking Instructions P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Positioners
版本/日期
2018-01-24
pdf - 768 KB
English
3D模型
3D模型
P-611.XZ • P-611.2 3D模型
zip - 370 KB
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P-611.2S
XY纳米定位器；行程100µm×100µm（X×Y）；SGS，间接位置测量；LEMO接头；电缆长度1.5m
P-611.XZ0
XZ纳米定位器；行程120µm×120µm（开环）（X×Z）；LEMO接头；电缆长度1.5m
P-611.XZS
XZ纳米定位器；行程100µm×100µm（X×Z）；SGS，间接位置测量；LEMO接头；电缆长度1.5m
