P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向纳米定位器

主动轴

X, Y

X, Y

X, Z

X, Z

运动和定位

集成传感器

应变片传感器

–

应变片传感器

–

-20至120 伏时的开环行程

120

120

120

120

微米

+20 % / -0 %

行程，闭环

100

–

100

–

微米

分辨率，开环

0.2

0.2

0.2

0.2

纳米

典型值

分辨率，闭环

2

–

2

–

纳米

典型值

线性误差

0.1

–

0.1

–

%

典型值

重复精度

<10

–

<10

–

纳米

典型值

X、Y向上的螺距

±5

±5

±5

±5

微弧度

典型值

θ_X向上的倾斜（Z向运动）

–

–

±10

±10

微弧度

典型值

X向上的偏转角

±20

±20

±20

±20

微弧度

典型值

Y向上的偏转角

±10

±10

–

–

微弧度

典型值

θ_Y向上的倾斜（Z向运动）

–

–

±10

±10

微弧度

典型值

机械特性

刚度

0.2

0.2

0.2

Z：0.35

0.2

Z：0.35

牛/微米

±20 %

谐振频率，空载

X：345；

Y：270

X：345；

Y：270

X：365；

Z：340

X：365；

Z：340

赫兹

±20 %

带30 克负载时的谐振频率

X：270；

Y：225

X：270；

Y：225

X：280；

Z：295

X：280；

Z：295

赫兹

±20 %

带100 克负载时的谐振频率

X：180；

Y：165

X：180；

Y：165

X：185；

Z：230

X：185；

Z：230

赫兹

±20 %

运动方向上的推/拉力

15 / 10

15 / 10

15 / 10

15 / 10

牛

最大

负载容量

15

15

15

15

牛

最大

驱动特性

陶瓷类型

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

电容

1.5

1.5

1.5

1.5

微法

±20 %

其他

工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

°C

材料

铝、钢

铝、钢

铝、钢

铝、钢

尺寸

44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米

44 毫米 × 44 毫米 × 25 毫米

44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米

44 毫米 × 44 毫米 × 34 毫米

质量

0.235

0.235

0.27

0.27

千克

±5 %

电缆长度

1.5

1.5

1.5

1.5

米

±10 毫米

传感器连接

LEMO

–

LEMO

–

电压连接

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

推荐电控

E-503、E-505、E-663、E-664、E-727

E-503、E-505、E-663、E-664、E-727

E-503、E-505、E-663、E-664、E-727

E-503、E-505、E-663、E-664、E-727