双轴，串联运动。带机械杠杆运动放大器的无摩擦柔性铰链接头。电容式位置传感器实现最大稳定性和线性度
带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、防潮性能佳、工作温度达80摄氏度
科研和工业中的样本操作和定位，也适用于透射光应用
初步数据
P-763.22C
单位
主动轴
X, Y
运动和定位
集成传感器
电容式传感器
X、Y向上的闭环行程
200
微米
X、Y向上的开环分辨率
1
纳米
X、Y向上的闭环分辨率
2
X、Y向上的线性误差
0.02
%
X、Y向上的重复精度
±5
机械特性
带负载时X向上的谐振频率
180赫兹（260克）
赫兹
负载容量
10
牛
驱动特性
压电陶瓷
PICMA P-887
X、Y向上的电容
12.8
微法
其他
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝、钢
尺寸
70 毫米 × 70 毫米 × 25 毫米
通孔尺寸
30毫米×30毫米
电缆长度
1.5
米
连接
1个Sub-DMix，1个通道，分别用于X和Y轴
具有小型足迹和大孔径的P-763.22C XY纳米级定位系统
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