H-850.G2IV
精密六足位移台；直流齿轮电机；旋转编码器；有效载荷25kg；最大速度2.5mm/s；真空兼容至10-6hPa；真空侧成套电缆长度2m；馈通。 空气端连接电缆不包含在发货范围内，需单独订购。
H-850.x2IV 真空兼容型六足位移台
可负载高达80kg
- 真空达10-6 hPa
- 重复精度：±0.2µm
- 行程：±50mm / ±50mm / ±25mm
- 旋转范围：±15° / ±15° / ±30°
H-850.x2IV，尺寸单位为毫米，位于标称行程零位
H-850.x2IV 真空兼容型六足位移台
产品描述
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应用
凭借其高精度，H-850.x2IV成为真空应用中零部件定位与对准的佳选，可提供六个自由度（6DoF），精度达亚微米级，且不会破坏真空环境。
工业与科研领域的典型应用包括：真空腔室内光学元件的精密对准、光刻与检测系统的定位与对准、科研束线装置内样品与光束光学元件的对准，以及卫星与光学传感器真空测试舱内元器件的对位与运动控制。
大负载下的精密定位
凭借高负载能力（80kg）及经过验证的可靠性，H-850.x2IV通常用于真空环境中较重测试物体或样品的精密定位。 H-850.x2IV适用于真空度高达10-6hPa的真空环境。
高自锁力确保了高定位稳定性，使该六足位移台即使在断电状态下也能保持位置不变。
并联运动设计
该六足位移台采用六自由度并联运动技术方案，相较于可比的串联运动系统更加紧凑且更具刚性。 与串联设计（即堆叠系统）相比，其优势主要在于更高的路径精度和重复精度。 此外，其运动质量更低，在所有运动轴上都具有更好的动态性能。 此外，电缆管理不再是问题，因为电缆无需随平台运动。
运动仿真保护总体系统
PIVirtualMove软件（可免费下载）模拟H-850.x2IV的行程、对准及允许的力和扭矩，便于优化系统配置。 在此过程中，将同时考虑选定的旋转中心与负载重心。
六足位移台控制器发货时提供免费软件包，内含工件和刀具坐标系及仿真工具， 这些工具有助于在真空环境中保护光学器件等关键组件。
规格
规格
选择行程范围：
| 运动 | H-850.G2IV | H-850.H2IV | 公差 |
|---|---|---|---|
| 主动轴 | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| X向的行程 | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Y向的行程 | ± 50 mm | ± 50 mm | |
| Z向的行程 | ± 25 mm | ± 25 mm | |
| θX向的旋转范围 | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| θY向的旋转范围 | ± 15 ° | ± 15 ° | |
| θZ向的旋转范围 | ± 30 ° | ± 30 ° | |
| X向的最大速度 | 2.5 mm/s | 0.15 mm/s | |
| 推荐速度（X） | 2 mm/s | 0.1 mm/s | |
| Y向的最大速度 | 2.5 mm/s | 0.15 mm/s | |
| 推荐速度（Y） | 2 mm/s | 0.1 mm/s | |
| Z向的最大速度 | 2.5 mm/s | 0.15 mm/s | |
| 推荐速度（Z） | 2 mm/s | 0.1 mm/s | |
| θX向的最大角速度 | 30 mrad/s | 1.8 mrad/s | |
| 推荐角速度（θX） | 25 mrad/s | 1.2 mrad/s | |
| θY向的最大角速度 | 30 mrad/s | 1.8 mrad/s | |
| 推荐角速度（θY） | 25 mrad/s | 1.2 mrad/s | |
| θZ向的最大角速度 | 30 mrad/s | 1.8 mrad/s | |
| 推荐角速度（θZ） | 25 mrad/s | 1.2 mrad/s | |
| 定位 | H-850.G2IV | H-850.H2IV | 公差 |
| X向的最小位移 | 1 µm | 0.3 µm | typ. |
| Y向的最小位移 | 1 µm | 0.3 µm | typ. |
| Z向的最小位移 | 0.5 µm | 0.2 µm | typ. |
| θX向的最小位移 | 7.5 µrad | 3 µrad | typ. |
| θY向的最小位移 | 7.5 µrad | 3 µrad | typ. |
| θZ向的最小位移 | 15 µrad | 5 µrad | typ. |
| X向的单向重复精度 | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | typ. |
| Y向的单向重复精度 | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | typ. |
| Z向的单向重复精度 | ± 0.2 µm | ± 0.2 µm | typ. |
| θX向的单向重复精度 | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| θY向的单向重复精度 | ± 3 µrad | ± 3 µrad | typ. |
| θZ向的单向重复精度 | ± 7.5 µrad | ± 7.5 µrad | typ. |
| X向的空回 | 8 µm | 6 µm | typ. |
| Y向的空回 | 8 µm | 6 µm | typ. |
| Z向的空回 | 1.5 µm | 0.5 µm | typ. |
| θX向的空回 | 25 µrad | 7.5 µrad | typ. |
| θY向的空回 | 25 µrad | 7.5 µrad | typ. |
| θZ向的空回 | 90 µrad | 60 µrad | typ. |
| 驱动性能 | H-850.G2IV | H-850.H2IV | 公差 |
| 驱动类型 | 直流齿轮电机 | 直流齿轮电机 | |
| 标称电压 | 24 V | 24 V | |
| 机械性能 | H-850.G2IV | H-850.H2IV | 公差 |
| X向的刚性 | 3.5 N/µm | 4 N/µm | |
| Y向的刚性 | 3.5 N/µm | 4 N/µm | |
| Z向的刚性 | 50 N/µm | 60 N/µm | |
| 最大负载能力，底板沿水平方向 | 25 kg | 80 kg | |
| 最大负载能力，底板沿任意方向 | 10 kg | 40 kg | |
| 最大保持力，底板沿水平方向 | 250 N | 2000 N | |
| 最大保持力，底板沿任意方向 | 85 N | 500 N | |
| 传动螺杆类型 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | |
| 总质量 | 17 kg | 17 kg | |
| 材料 | 铝 | 铝 | |
| 其他 | H-850.G2IV | H-850.H2IV | 公差 |
| 工作温度范围 | -10至50 °C | -10至50 °C | |
| 真空等级 | 10⁻⁶ ǀ hPa | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
| 占空比 | 5 % | 10 % | |
| 数据传输连接器 | HD D-sub 78（公头） | HD D-sub 78（公头） | |
| 电源电压连接器 | M12 4针（公头） | M12 4针（公头） | |
| 电缆长度 | 2 m | 2 m | |
| 推荐控制器/驱动器 | C-887.5x | C-887.5x |
占空比规定了该六足位移台允许的最长连续运行时长，随后必须停机静置，以此避免设备因发热量过大发生损坏。 H-850.x2IV的连续运行占空比定义为：在推荐速度下，最长连续运行时间为15分钟。 设备在真空环境下连续运行时，由于会产生热量，可能需要对运行参数进行限制。
空气端连接电缆不包含在发货范围内，需单独订购。
可按需提供定制版本。
测量定位的规格时，使用典型速度。数据以测量报告的形式包含在产品交付中，并存储在PI中。
各个坐标（X、Y、Z、θX、θY、θZ）的最大行程范围是相互依存的。当所有其他轴都处于标称行程范围的零位置并且使用默认坐标系时，或者更确切地说，当旋转中心点设置为0,0,0时，每个轴的数据显示其最大行程范围。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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H-850.H2IV
精密六足位移台；直流齿轮电机；旋转编码器；有效载荷80kg；最大速度0.15mm/s；真空兼容至10-6hPa；真空侧成套电缆长度2m；馈通。 空气端连接电缆不包含在发货范围内，需单独订购。
