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有源垫片实现纳米级分辨率和长期稳定性：用基于压电陶瓷的“垫片”进行调整
具有纳米级分辨率和长期稳定性的有源垫片：用基于压电陶瓷的“垫片”进行调整（图片：PI）
基于压电陶瓷的垫片在机器制造时被嵌入机器中；它们的供应方式与同一制造商生产的其他压电陶瓷促动器完全相同，可提供几乎任意形状和尺寸。促动器处的静态间隙可通过施加电压来设定。PI提供用于这一调整过程的易用电源以及匹配控制。调整后，所需位置在断电后保持稳定，因此电源连接可以断开。标准产品的最大位移为35微米；但有源垫片的巧妙组合可实现在多达六轴上进行调整。
在无法接近的位置上进行调整的能力得到了大大简化，甚至比这还要简单，因为基于压电陶瓷的垫片可以承载重达几顿的负载。需要时，有源垫片还能与传统压电陶瓷促动器组合，用于动态振动补偿等。典型应用包括在测量或扫描过程中重新调整焦平面以及在测量技术或材料加工中控制激光束等。
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关于PI
PI (Physik Instrumente)是全球精密定位技术市场的佼佼者，多年来以其优质产品而闻名。在使用压电或电机驱动器的标准及OEM产品的开发和制造方面，PI拥有40年的历史。ACS是多轴高精度驱动器系统用模块化运动控制器的开发商和制造商，通过收购其大多数股份，PI在为要求高精度和动态的工业应用提供整套系统的方面又向前迈进了重要一步。PI集团遍布全球，除了在德国设有四个基地之外，在全球还设立了十五个销售和服务分部。