应用
有源垫片的应用随处可见,其中两个组件之间的对准至关重要,而漂移或机器部件公差的变化会导致需要再次对准。尤其是当环境条件和可近性使得手动介入很困难时,PIRest促动器是一个可行的选择
- 用于机器的质量鉴定和校准
- 在客户场地首次安装机器期间
- 温度漂移造成的再次对准 用于再次对准期间,例如由于组件尺寸的改变
由于促动器的分辨率高达几纳米,其应用不仅包含经典机械工程,还包含天文学中的光学部件对准或同步加速器及半导体制造等的材料研究。
用于持续稳定间隙主动调整的全新压电陶瓷技术
当一台机器上的两个部件之间的目标或实际间隙发生改变时,就可能需要重新调整。
精确研磨至所需间隙的传统平垫片的缺点是它们需要进行机械插入。无法保证按照需要精确调整,而且预定间隙也无法再改变。
但基于压电陶瓷的PIRest有源垫片就不是这样,它们只需要插入一次,就能主动调整或再次调整两个部件之间的间隙。
传统压电陶瓷促动器不适用于此种用途。只要需要位移,促动器上的电压(偏移电压)就必须一直保持,这对于促动器以及机器设备的使用寿命是一个显著的劣势,因为机器设备也需要额外的稳定电源。
尽管PIRest技术是基于压电陶瓷促动器,然而即使没有偏移电压它也可以在调整后维持稳定的位移,精度达纳米级。
混合促动器带来灵活性
混合促动器带来灵活性
混和促动器由一个传统型和一个PIRest压电陶瓷促动器组成。当PIRest促动器部件按照描述永久地纠正位置时,可将此作为基础通过传统型促动器执行动态运动。这有助于几十赫兹范围内的动态振动补偿、测量或扫描过程中焦平面的再次对准、计量或材料加工中的激光束控制。