F-712.MA1 高精度单面光纤对准系统

用于校准光纤和光学部件的堆叠型多轴系统

用于光纤光学校准的集成扫描子程序
非常适用于硅光子学中的应用
大量软件包
光学信号的直接检测
位置传感器实现高精度和操作重复性
小于0.2秒的时间内完成几条光纤的自动校准

F-712.MA1，尺寸单位为毫米

光纤对准系统的基础是一个极具刚性的XYZ装置，包含三个机动化线性平台和一个P-616 NanoCube纳米定位器。总高度很低，使得有限空间内的集成更加简易。机动化驱动器可实现更长行程，与此同时，NanoCube纳米定位器可确保快速扫描运动和漂移作用的动态补偿。柔性铰链导向和全瓷绝缘PICMA促动器确保很长的使用寿命。所有驱动器都配备了位置传感器，因而能可靠防止与昂贵的硅晶片发生碰撞等。

精密的扫描子程序直接与控制器集成。性能得到明显提升，集成更简易。系统可执行光纤校准领域的一切任务。例如，它可以实现多自由度同步对准。

发货范围内提供的软件包可将系统集成到几乎任何环境中。可支持Windows、Linux和macOS等所有常见操作系统以及MATLAB和NI LabVIEW等许多常见编程语言。复杂的编程实例和PIMikroMove等软件工具的应用使集成开始至生产运行之间的时间间隔大大缩短。

控制器通过高分辨率模拟量输入直接接收光强信号。无需带摄影机的复杂装置。多种分布函数可用于确定最大光强。

光学部件校准，自动晶片测试，硅光子学中的装配技术

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版本/日期

2019-12-04

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版本/日期

2019-12-04

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运动和定位	F-712.MA1	单位
主动轴的数量	6
粗定位
主动轴	X、Y、Z
X、Y和Z向上的行程	25, 25, 25	毫米
最小位移	3	微米
最大速度	20	毫米/秒
传感器类型	旋转编码器
导向	交叉滚柱导轨
驱动类型	直流电机
精定位
主动轴	X、Y、Z
X、Y、Z向上的闭环行程	100	微米
最小位移，开环	0.3	纳米
最小位移，闭环	2.5	纳米
线性误差，全行程范围内*	2	%
重复精度（双向） 10%行程范围内	2	纳米
传感器类型	增量
驱动类型	PICMA
校准
螺旋区域扫描500微米直径的扫描时间**	<3	秒
螺旋区域扫描100微米直径的扫描时间**	<0.3	秒
螺旋区域扫描10微米直径的扫描时间**	<0.2	秒
扫描时间，梯度扫描，±5微米的随机化（重复精度< 0.01分贝）***	<0.3	秒

其他	F-712.MA1	单位
工作温度范围，机械部件	-20 到 65	°C
工作温度范围，控制器	5 到 40	°C
电缆长度	3	米

	光学功率计的要求	单位
输出信号	模拟量输出，由线性向对数式的完美转换
输出电压范围，最大值	-5 到 5	伏
带宽，最小值	1	千赫兹
噪声级，最大值	-60	毫瓦分贝