N-111.2A1
NEXLINE OEM压电步进促动器，10毫米，50牛， 线性编码器，5纳米分辨率
N-111 NEXLINEOEM线性促动器
长行程纳米定位，PiezoWalk原理
- 行程10毫米
- 带分辨率的集成式直接测量线性编码器5纳米
- 力量生成达50牛
- 保持力达70牛
N-111.20, 尺寸单位为毫米
N-111.2A, 尺寸单位为毫米
N-111 NEXLINEOEM线性促动器
产品描述
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应用领域
- 工业级精度定位
- 半导体技术
- 半导体测试
- 晶圆检测
- 平版印刷术
- 纳米压印
- 纳米测量
- 强磁场和真空中运动
采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力
数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。
增量式线性编码器用于高精度位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
适用于复杂真空应用
PI压电电机可设计用于真空，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本可用于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。
规格
规格
N-111.201 | N-111.2A1 | 单位 | 公差 | |
|---|---|---|---|---|
主动轴 | X | X | ||
运动和定位 | ||||
行程 | 10 | 10 | 毫米 | |
模拟模式下的行程 | ±2 | ±2 | 微米 | |
集成传感器 | – | 线性编码器 | ||
分辨率，开环 | 0.025 | 0.025 | 纳米 | 典型值 |
分辨率，闭环 | – | 5纳米 | ||
速度（10 %占空比，全步模式）* | 1.0 | 1.0 | 毫米/秒 | 最大 |
速度（100 %占空比，全步模式）* | 0.6 | 0.6 | 毫米/秒 | 最大 |
速度（100% 占空比，纳米步进模式）** | 0.4 | 0.4 | 毫米/秒 | 最大 |
机械特性 | ||||
驱动力（主动）*** | 50 | 50 | 牛 | 最大 |
保持力（被动） | 70 | 70 | 牛 | 最小 |
驱动特性 | ||||
电机类型 | NEXLINE | NEXLINE | ||
工作电压 | -250 到 +250 | -250至+250 | 伏 | |
其他 | ||||
工作温度范围 | 0 到 55 | 0 到 55 | °C | |
材料 | 铝，不锈钢，钛 | 铝，不锈钢，钛 | ||
质量 | 245 | 325 | 克 | |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
连接器 | Sub-D25针（公头） | Sub-D25针（公头） | ||
推荐电控 | E-712.1AM | E-712.1AM |
* 取决于驱动电控。
** 取决于驱动电控。 纳米步进模式下的最大速度是为了实现最佳可能恒定性设计的，如此一来，步进时就没有速度变化。
*** 数据适用于全步模式下的操作。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
