PIRest有源压电陶瓷垫片

如果精密机器内部两个部件之间的目标或实际尺寸发生了改变,例如在半导体制造、测量应用或检验系统中,重新调整也许就有必要了。例如,当机器在客户场地被启动时,初始设定、漂移或公差变化需要在安装后进行补偿。精确研磨至所需尺寸的传统垫片的缺点是它们需要进行机械插入。此外,不受限制的精调有时并不可能,且一旦尺寸确定下来,后续就很难再改。PI (Physik Instrumente)找到了这一问题的最佳解决方案,开发出了PI Rest压电陶瓷“垫片”。当它们被安装在机器中后,有源垫片不仅可以随时重新调整两个部件之间的间隙,还能达到纳米级精度。