带皮带驱动的折叠驱动，Z向位移台结构紧凑。可安装在带M6 50 毫米 × 50 毫米连接间距的线性平台上（如L-406）。
非接触式、超高精度的光学编码器直接测量平台的位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
研究. 半导体技术. 光子. 自动化.
L-306.011100
L-306.011112
L-306.013112
单位
公差
带两相步进电机的Z向位移台
带两相步进电机的Z向位移台，带A/B正交信号传输的线性编码器
带直流电机的Z向位移台，带A/B正交信号传输的线性编码器
运动和定位
行程
13
毫米
集成传感器
–
增量线性编码器
传感器分辨率
5
50
牛米
设计分辨率
2.5
0.005
0.05
微米
最小位移
0.1
典型值
单向重复精度
0.5
双向重复性
±2
±0.5
俯仰角
±175
微弧度
偏转角
±150
直线度/平面度
±3
速度
毫米/秒
最大
参考和限位开关
叉式光电传感器，常闭触点，5伏，NPN
机械特性
导向类型
带防蠕动系统的交叉滚柱导轨
传动螺杆类型
滚珠丝杠
丝杠螺距
推拉力
20
牛
保持力，断电
允许侧向力
10
负载容量
θX、θY向上的允许力矩
1
θZ向上的允许力矩
2
驱动特性
电机类型
两相步进电机
直流电机
其他
工作温度范围
5到40
5至40
摄氏度
湿度
20%至80%相对湿度，无凝结
材料
阳极氧化铝、钢
质量
0.6
千克
±5 %
移动质量
0.18
连接器
HD D-sub 26针（公头）（电机）
HD D-sub 26针（公头）（电机和编码器）
电缆长度
米
推荐控制器
C-663.12单轴
SMC Hydra（双轴）
带C-663.12C885的C-885（多达20轴）
ACS模块化控制器
C-863单轴
C-884（多达6轴）
带C-863.20C885的C-885（多达40轴）
带电动的定位器：DT-xx/HPS-170/L-xxx/LS-xxx/PRS-xxx/RS-40/UPL-120/VT-80/WT-xx/WT-xxx
紧凑型Z向定位器L-306.011100/011112/013112
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