UPL-120 精密Z向位移台

高负载时具有优异的精度

UPL-120，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

UPL-120，直流电机，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

UPL-120，步进电机，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。

Z向位移台的轴和力矩方向

非常精确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的交叉滚柱导轨。应力消除铝基座可实现高稳定性。带直流电机和两相步进电机的驱动器变型。非接触式限位开关

非接触式、超高精度的光学编码器直接测量平台的位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。

工业和科研，例如半导体检验、光纤对准。

数据表

版本/日期

2022-01-11

pdf - 2 MB

版本/日期

2022-01-11

pdf - 2 MB

版本/日期

2022-01-11

pdf - 2 MB

	6635911030 / 6635911130	6635921030 / 6635921130-0001	单位	公差
主动轴	Z	Z
行程	13	13	毫米
俯仰角	±100	±100	微弧度	典型值
偏转角	±100	±100	微弧度	典型值
直线度	±3.0	±3.0	微米	典型值
平面度	±3.0	±3.0	微米	典型值
速度	6	3	毫米/秒	最大值

运动和定位	6635911030	6635911130	6635921030	6635921130-0001	单位	公差
集成传感器	旋转编码器	线性编码器旋转编码器	–	线性编码器
传感器信号旋转编码器	A/B正交，RS-422	A/B正交，RS-422	–	–
传感器信号线性编码器	–	A/B正交，RS-422	–	正弦/余弦，1伏峰峰值， 20微米信号周期
设计分辨率	0.013	0.05	1.34	0.005	微米
传感器分辨率旋转编码器	20000	20000	–	–	步/圈
传感器分辨率线性编码器	–	0.05	–	–	微米
最小位移	0.1	0.1	0.1	0.05	微米	典型值
单向重复精度	0.25	0.25	0.2	0.15	微米	典型值
双向重复精度	±2	±1	±1.5	±0.5	微米	典型值
参考点开关重复精度	<1	<1	<1	<1	微米	典型值

机械特性	6635911030 / 6635911130	6635921030 / 6635921130-0001	单位	公差
导向类型	带防蠕动系统的交叉滚柱导轨	带防蠕动系统的交叉滚柱导轨
传动螺杆类型	滚珠丝杠	滚珠丝杠
丝杠螺距	1	1	毫米
齿轮速比	2911:780	2911:780
推/拉力，通电	200	150	牛	最大值
保持力，断电	40	80	牛	典型值
负载容量	200	150	牛	最大值
Y向上的允许侧向力F_y	150	150	牛	最大值
θ_x向上的允许力矩M_x	130	130	牛米	最大值
θ_y向上的允许力矩M_y	38	38	牛米	最大值
θ_Z向上的允许力矩M_z	150	150	牛米	最大值

驱动特性	6635911030 / 6635911130	6635921030 / 6635921130-0001	单位	公差
电机类型	直流电机	两相步进电机
步进分辨率	–	200	全步/转
工作电压，标称值	24	24	伏	标称值
工作电压，最大值	48	48	伏	最大值
限位开关	光学	光学

其他	6635911030 / 6635911130	6635921030 / 6635921130-0001	单位	公差
工作温度范围	5至40	5至40	摄氏度
质量	2.4	2.3	千克	±5%
移动质量	1.3	1.3	千克	±5%
材料	铝，阳极氧化致黑	铝，阳极氧化致黑
连接器	6635911030：HD D-sub 15针（公头） 6635911130：电机：HD D-sub 15针（公头），传感器：D-sub 9针（公头）	6635921030：HD D-sub 15针（公头） 6635921130-0001：电机：HD D-sub 15针（公头），传感器：D-sub 9针（公头）
推荐控制器/驱动器	C-863单轴 C-884（多达6轴）带C-863.20C885的C-885（多达40轴） ACS模块化控制器	C-663.12单轴 SMC Hydra（双轴）带C-663.12C885的C-885（多达20轴） ACS模块化控制器