蜗杆传动。孔径为20毫米。参考点开关。
最值得注意的是，对于导轨和传动螺杆的润滑，使用具有特别低除气的材料。因此，可承受温度高达80摄氏度。
在这种情况下，使用适合高真空的特殊组件，如电机、测量系统和限位开关。此外，表面由无涂层铝制成，传动螺杆和导向装置由不锈钢制成。这样，PI V7真空等级就达到了，这意味着高达10-7百帕。
带减速齿轮的步进电机。
真空室。研究. 高能束线设备. 显微镜. 电子元件组装和检验.
运动和定位
3216V21000
单位
公差
主动轴
θZ
旋转范围
>360
°
摆动
±35
微弧度
典型值
平面度
±5
微米
偏心度
角速度
20
度/秒
最大
集成传感器
–
设计分辨率
349
最小位移
87
单向重复精度
双向重复性
±700
参考点开关
霍尔效应，常闭触点，3.8至24伏，NPN
机械特性
轴承
滚珠轴承
蜗轮速比
90:1
负载能力/轴向力
牛
允许侧向力
5
θZ上的保持力矩，断电
0.2
牛米
θX向上的允许力矩MX
2
θY向上的允许力矩My
θZ向上的允许力矩Mz
惯性力矩
15
千克平方毫米
±20 %
驱动特性
电机类型
两相步进电机
工作电压，标称值
24
伏
标称
工作电压，最大值
48
电机分辨率
200
全步/转
其他
工作温度范围
5到40
摄氏度
材料
铝、不锈钢、红铜
质量
0.4
千克
±5 %
移动质量
0.088
固定电缆*，在真空侧：电缆长度
米
连接器
D-sub 15（母头）
推荐控制器/驱动器
C-663.12单轴
SMC Hydra（双轴）
带C-663.12C885的C-885（多达20轴）
ACS模块化控制器
RS-40旋转台
带电动的定位器：DT-xx/HPS-170/L-xxx/LS-xxx/PRS-xxx/RS-40/UPL-120/VT-80/WT-xx/WT-xxx
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直流电机或步进电机等旋转电机是与螺杆驱动器或蜗杆驱动器结合使用。
