行程
25~200mm
100~300mm
尺寸
141~316×80×40.5 mm
255~455×120×57 mm
设计分辨率
0.012μm
0.018μm
最小运动量
0.1~0.25μm
0.1~0.5μm
单向重复精度
0.5~1μm
角度串扰（pitch/yaw）
±75~±200μrad（每100mm）
±100~±300μrad（每100mm）
最大速度
50mm/s
100mm/s
螺杆导程
1，2mm
负载
200N
500N
推拉力
50，100N
50，200N
电机类型
带减速齿轮的直流电机，集成了ActiveDrive放大器的直流电机，2相步进电机
推荐控制器
C-863单轴/C-663单轴
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