行程
25×25mm
100×100mm
尺寸
102.2×102.2×36.3 mm
357×332×26 mm
最小运动量
＜1μm
1μm
单向重复精度
±0.1μm
双向重复精度
＜5μm
最大速度
5mm/s
50mm/s
螺杆导程
1mm
负载
3N
10N
推拉力
20N
电机类型
2相步进电机
直流伺服电机
推荐控制器
C-663单轴
C-863单轴控制器;
C-843 2轴或4轴PCI控制卡；
C-884四轴控制器
传感器类型
线性标尺
传感器分辨率
0.1μm
设计分辨率
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