非接触、具有亚纳米精度的直接位置测量
- 距离、运动和振动的绝对测量
- 可行的测量范围为10µm至2mm
- 直接计量 : 运动物体的直接位置测量
- 只有最小加热,没有散射光
- 真空兼容10-9帕
- 免维护,无磨损
- 高带宽至10 kHz
- 高温长期稳定 (<0.1 nm/3 h)
- 为了最大温度稳定性的殷刚选项 (5 × 10-6/K)
- 紧凑型单电极或双电极传感器,定制设计
- 在各种配置水平处理电子产品,从模拟原始设备制造商(OEM)版本到可随时扩展的模块化设计的数字控制系统。
应变式传感器(SGS)的间接位置测量
应变片传感器包括一个薄金属或半导体箔(压电电阻),附着于压电陶瓷或为了提高精度,附着于弯曲平面的导向系统。这种类型的位置测量是接触和间接的移动平台的位置取决于杠杆、导向或压电堆的测量。应变片传感器从其扩展中获得位置信息。具有多个应变片传感器的全桥电路提高了热稳定性。
PISeca:电容式单电极传感器
PISeca:电容式单电极传感器
PISeca单电极电容传感器可测量各种导电表面,且便于机械处理,例如,在安装或电缆敷设过程中。其使用也更加灵活,例如检测垂直于测量方向的运动。 用于PISeca的E-852独立处理电控仅产生最小的噪声,并集成线性化系统。所有系统均在PI校准并根据预期带宽和测量范围进行优化。. >> PISeca传感器和对应的处理电控作为PI的产品提供。