数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。
非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。
N-216.101 / N-216.1A1
N-216.201 / N-216.2A1
公差
主动轴
X
运动和定位
行程
20毫米
模拟模式下的行程
±3微米
集成传感器
N-216.101：无
N-216.1A1：线性编码器
N-216.201：无
N-216.2A1：线性编码器
分辨率，开环
0.03纳米
典型值
分辨率，闭环
- / 5纳米（N-216.1A1）
- / 5纳米（N-216.2A1）
速度（10 %占空比，全步模式）*
1.0 毫米/秒
最大
速度（100 %占空比，全步模式）*
0.6 毫米/秒
速度（100% 占空比，纳米步进模式）**
0.4 毫米/秒
机械特性
驱动力（主动）***
300牛
600牛
保持力（被动）
400牛
800牛
最小
驱动特性
电机类型
NEXLINE
工作电压
-250伏至+250伏
其他
工作温度范围
0到55°C
材料
铝，不锈钢
质量
1150克
1250克
电缆长度
2.0米
连接器
Sub-D25针（公头）
推荐电控
E-712.1AM
N-216 NEXLINE线性促动器
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PiezoWalk®驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言，半导体产业是一个非常严苛的行业。
认真处理、充足空间：PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备，同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。
PI将增量测量系统用于超过1毫米的较长行程范围。这些传感器，大多数情况下都是光学传感器，可实现低至皮米的位置分辨率。
