N-216 NEXLINE线性促动器
长行程纳米定位,具有高力,PiezoWalk原理
- 力量生成达600牛
- 保持力达800牛
- 行程20毫米
- 带分辨率的集成式直接测量线性编码器5纳米
N-216 NEXLINE线性促动器
产品描述
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应用领域
- 工业级精度定位
- 半导体技术
- 半导体测试
- 晶圆检测
- 平版印刷术
- 纳米压印
- 纳米测量
- 强磁场和真空中运动
采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力
数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。
增量编码器用于高精度位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
适用于复杂真空应用
PI的压电电机原则上是真空兼容的,并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。
规格
规格
N-216.101 / N-216.1A1 | N-216.201 / N-216.2A1 | 公差 | |
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主动轴 | X | X | |
运动和定位 | |||
行程 | 20毫米 | 20毫米 | |
模拟模式下的行程 | ±3微米 | ±3微米 | |
集成传感器 | N-216.101:无 N-216.1A1:线性编码器 | N-216.201:无 N-216.2A1:线性编码器 | |
分辨率,开环 | 0.03纳米 | 0.03纳米 | 典型值 |
分辨率,闭环 | - / 5纳米(N-216.1A1) | - / 5纳米(N-216.2A1) | |
速度(10 %占空比,全步模式)* | 1.0 毫米/秒 | 1.0 毫米/秒 | 最大 |
速度(100 %占空比,全步模式)* | 0.6 毫米/秒 | 0.6 毫米/秒 | 最大 |
速度(100% 占空比,纳米步进模式)** | 0.4 毫米/秒 | 0.4 毫米/秒 | 最大 |
机械特性 | |||
驱动力(主动)*** | 300牛 | 600牛 | 最大 |
保持力(被动) | 400牛 | 800牛 | 最小 |
驱动特性 | |||
电机类型 | NEXLINE | NEXLINE | |
工作电压 | -250伏至+250伏 | -250伏至+250伏 | |
其他 | |||
工作温度范围 | 0到55°C | 0到55°C | |
材料 | 铝,不锈钢 | 铝,不锈钢 | |
质量 | 1150克 | 1250克 | |
电缆长度 | 2.0米 | 2.0米 | |
连接器 | Sub-D25针(公头) | Sub-D25针(公头) | |
推荐电控 | E-712.1AM | E-712.1AM |
* 取决于驱动电控。
**取决于驱动电控。纳米步进模式下的最大速度是为了实现最佳可能恒定性设计的,如此一来,执行步进时就没有速度变化。
***数据适用于全步模式下的操作。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。