N-331.10
压电步进驱动器PICMAWalk，行程为25毫米，开环，推/拉力为50牛
N-331 PICMAWalk 步进驱动器
用于速度高达15毫米/秒、推拉力高达50牛的持久应用的OEM步进驱动器
- 带PICMA技术可实现超级耐久性的稳健型且可用于工业的步进驱动
- 其尺寸级别中最快、最强的驱动器
- 动轮长度的变化范围为25毫米至100 毫米
- 重达5公斤的负载的精确、纳米级精度定位
- 即插即用型，得益于PI专有的控制器技术
N-331.x3，尺寸单位是毫米。N-331.x0的尺寸相同。
N-331驱动器能可靠地执行可重复的10纳米步进。使用干涉仪测量。
N-331 PICMAWalk 步进驱动器
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应用领域
- 工业级精度定位
- 半导体技术
- 半导体测试
- 晶圆检测
- 平版印刷术
- 纳米压印
- 纳米测量
- 强磁场和真空中运动
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力
数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。
增量编码器用于高精度位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
适用于复杂真空应用
PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。
规格
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N-331.10 / N-331.13 N-331.20 / N-331.23 N-331.40 / N-331.43 | 单位 | 公差 | |
|---|---|---|---|
主动轴 | X | ||
运动和定位 | |||
集成传感器 | N-331.x0：不带传感器 N-331.x3：带增量传感器 | ||
行程（步进模式，开环）* | N-331.1x：30 N-331.2x：55 N-331.4x：105 | 毫米 | ±0.5 毫米 |
行程（步进模式，闭环） | N-331.1x：25 N-331.2x：50 N-331.4x：100 | 毫米 | |
步进频率** | 600 | 赫兹 | 最大 |
速度（步进模式）** | 15 | 毫米/秒 | 最大 |
行程（模拟模式） | ±10 | 微米 | 典型值 |
分辨率（开环） | 0.02 | 纳米 | 典型值 |
分辨率（闭环） | <10 (N-331.x3) | 纳米 | 典型值 |
耐久性（大气操作）*** | >30 | 公里 | |
机械特性 | |||
推/拉力（主动） | 50 | 牛 | 最大 |
保持力（被动） | 60 | 牛 | 最大 |
驱动特性 | |||
驱动类型 | PICMAWalk | ||
工作电压 | -20 到 120 | 伏 | |
连接器 | |||
连接器 | Sub-D 37（公头） | ||
其他 | |||
工作温度范围 | 0 到 50 | °C | |
材料 | 铝，不锈钢 | ||
包含电缆在内的质量 | N-331.1x：580 N-331.2x：610 N-331.4x：660 | 克 | ±20克 |
移动质量 | N-331.1x：110 N-331.2x：140 N-331.4x：190 | 克 | ±10克 |
电缆长度 | 2.0 | 米 | ±10 毫米 |
推荐电控 | E-712.1AN • E-712.2AN • E–712.3AN |
*从动轮的一个机械硬停至另一个机械硬停，仅开环操作中
**带数字控制器以25瓦峰值功率输出操作时
***优化解耦负载为2公斤，最大占空比为70%，数字控制器外部冷却，20摄氏度，1013百帕。在PiezoWalk家族内具有最高的耐久性。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
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N-331.13
压电步进驱动器PICMAWalk，行程为25毫米，增量传感器，推/拉力为50牛
N-331.20
压电步进驱动器PICMAWalk，行程为50毫米，开环，推/拉力为50牛
N-331.23
压电步进驱动器PICMAWalk，行程为50毫米，增量传感器，推/拉力为50牛
N-331.40
压电步进驱动器PICMAWalk，行程为100毫米，开环，推/拉力为50牛
N-331.43
压电步进驱动器PICMAWalk，行程为100毫米，增量传感器，推/拉力为50牛
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