U-523 PILine线性平台

精密级线性定位平台

PILine平台尤其适合要求快速精密定位的应用。 关机后，自锁驱动器保持平台位置的机械稳定。 能耗和发热量因此大幅降低。 对于低占空比应用，尤其是电池供电或对温升敏感的场景，这些特性优势更为明显。 轴的位置由编码器测量，配合光学参考开关，可实现可靠的重复定位运动。 压电电机的驱动原理及其电气操作方案成本较低，并支持按需定制。

PILine超声压电电机

PILine超声压电电机的关键部件为压电促动器，通过耦合元件对可移动、带导向的滑块施加预紧力。 在100–200kHz的高频交流电压的作用下，压电陶瓷促动器产生超声波谐振。 促动器的形变使耦合元件相对滑块产生周期性的对角运动。 每个周期形成的进给量仅为数纳米；高频带来高速度。 对压电陶瓷促动器进行预紧，可使驱动器在静止和关机状态下实现自锁。

增量直线光栅尺用于高精度位置测量

非接触式光学光栅尺以高精度直接在平台上测量位置。 非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

应用领域

显微操作、自动化、生物技术、样品处理、样本定位；适用于空间受限场合；（可选）支持真空应用，最低达10^-6hPa。