V-571.025A1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程25mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；增量直线光栅尺，传感器分辨率1nm，正弦/余弦，1Vpp
V-571 超高精度纳米定位直驱线性平台
Ideal for Scanning, Measuring, Imaging, Optical Alignment
- 行程范围：25mm、50mm、75mm和100mm
- 结构紧凑，占用空间小
- 直驱电机，效率及动态性能佳
- 交叉滚柱轴承，具有良好的直线度和平面度
- 配备增量或绝对光栅尺，可实现良好的精度、重复定位精度和安全性（绝对光栅尺）
V-571紧凑型直线电机位移台
V-571，尺寸单位为mm
V-571直线电机位移台系列
V-571 XY位移平台组合（带V-622回转台）
V-571 XYZ位移平台组合（带平衡装置）
V-571 超高精度纳米定位直驱线性平台
产品描述
规格
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产品概述
V-571线性平台旨在实现高准确性、高精度、长寿命及易用性，且支持任意方向安装。 另有集成平衡装置的型号可供选择，适用于垂直安装（详见网页V-571 Z）。
尽管机身紧凑，V-571纳米定位平台在行程精度、平面度及综合性能方面仍优于许多更大尺寸的线性位移台。 配备强劲的无齿槽直驱电机，V-571线性平台系列能够满足生产环境需求。
绝对光栅尺型号不仅提供1nm的分辨率，还实现了安全高效的启动，无需初始化或回零。 超高精度交叉滚柱轴承旨在实现平台全寿命周期的低维护运行。
V-571线性平台支持XY与XYZ组合安装。 Z轴型号配有磁性平衡装置，可确保直线电机保持很低的电流，并提升动态性能。 非接触式直驱直线电机可提供高动态性能，且运行无摩擦、免维护。
三相电机，动态性能更高，且运行无摩擦、免维护
V-571平台系列采用三相直线电机驱动，推力直接、无摩擦传递至运动平台。 因此可避免动力传动系统中齿轮、丝杠等机械部件常见的齿隙与间隙问题。 适合高速、高加速度应用，电机结构无摩擦、免维护，可从容应对24/7全天候运行，寿命更长。 控制器支持电流限幅设置，便于快速禁用电机，降低平台及设备端的损伤风险。
交叉滚柱轴承提升承载能力、精度与使用寿命
其在运行平稳性、直线度与平面度方面表现颇佳，性能接近空气轴承。 通过以线接触替代滚珠轴承的点接触，滚子刚性显著提高，所需预紧力更小。 摩擦随之降低，使运行更平稳，精度更高。 交叉滚柱轴承还可承受更高的垂直载荷与力矩载荷。 防蠕动机构可抑制滚子漂移，进一步提高可靠性。 使用无尘室润滑脂，实现低维护运行。
增量和绝对光栅尺选配件
V-571平台配备直线光栅尺，直接在运动平台上以高精度测量位置，从而提升线性度，并能避免间接测量方法可能导致的机械间隙和弹性变形。 增量光栅尺基于1Vpp正弦/余弦信号，需要归零信号以进行初始化。 相比之下，绝对直线光栅尺可提供明确的位置信息，无需归零即可直接确定当前位置。 上电时无需执行回零操作，提升了运行效率与安全性。
选择合适的精密线性平台与运动控制器
在半导体检测、光子学对准等高精度运动应用中，选择合适的线性平台是充分实现系统性能的关键。 选型时，需重点考量分辨率、导向精度及重复精度等指标。 V-571线性平台系列结构紧凑，兼具良好的几何精度（平面度、直线度、俯仰角和偏转角）以及±60nm的双向重复定位精度。 这些高速精密电动平台具有高动态性能，包括1g加速度和500mm/s速度，适合精密器件量产中所需的高精度自动化定位任务。
搭配PI A-8xx系列运动控制器，可实现良好的运动性能。 PI基于EtherCAT的控制器具备高灵活性，便于无缝集成各类兼容EtherCAT的第三方设备。 A-8xx系列运动控制器采用PILOT等先进算法，可在降低电机电流的同时实现更高动态性能，相当于提升了电机的力常数。 选择V-571，为您的运动控制应用带来准确、可靠而高效的体验。
附件和可选配件
- 光栅尺类型–1Vpp正弦/余弦或BiSS绝对值输出
- 适用于垂直安装的平衡装置
- 单轴或多轴，ACS运动控制器与伺服驱动器，集成式或分布式
- 电缆适配A-8xx系列基于ACS技术的控制器
- 多轴XY及XYZ位移台组合
- 花岗岩支撑底座
应用领域
样品检测。 精密微装配。 研究。 生物技术。 半导体测试与检测。 计量。 通用自动化。 设备组装。 激光微加工。 拾放作业。 光学、微机械和光子学组件的对准。
规格
规格
选择行程范围：
| 运动 | V-571.025A1 | V-571.025B1 | V-571.050A1 | V-571.050B1 | V-571.075A1 | V-571.075B1 | V-571.100A1 | V-571.100B1 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X | X | X | X | X | X | X | X | |
| X向的行程 | 25 mm | 25 mm | 50 mm | 50 mm | 75 mm | 75 mm | 100 mm | 100 mm | |
| X向的加速度，空载 | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | 10 m/s² | max. |
| X向的最大速度，空载 | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | |
| Y向上的直线度误差（直线度） | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | max. |
| Z向上的直线度误差（平面度） | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.6 µm | ± 0.6 µm | ± 0.8 µm | ± 0.8 µm | ± 0.9 µm | ± 0.9 µm | max. |
| 绕Y的角度误差（俯仰角） | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 50 µrad | ± 75 µrad | ± 75 µrad | max. |
| 绕Z的角度误差（偏转角） | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 25 µrad | ± 37.5 µrad | ± 37.5 µrad | max. |
| 定位 | V-571.025A1 | V-571.025B1 | V-571.050A1 | V-571.050B1 | V-571.075A1 | V-571.075B1 | V-571.100A1 | V-571.100B1 | 公差 |
| X向的已校准定位精度 | ± 0.12 µm | ± 0.12 µm | ± 0.12 µm | ± 0.12 µm | ± 0.12 µm | ± 0.12 µm | ± 0.12 µm | ± 0.12 µm | max. |
| X向的双向重复精度 | 0.16 µm | 0.16 µm | 0.16 µm | 0.16 µm | 0.16 µm | 0.16 µm | 0.16 µm | 0.16 µm | max. |
| 参考点开关 | 参考点位于行程中间，1Vpp信号 | — | 参考点位于行程中间，1Vpp信号 | — | 参考点位于行程中间，1Vpp信号 | — | 参考点位于行程中间，1Vpp信号 | — | |
| 集成传感器 | 增量式直线光栅尺 | 绝对式直线光栅尺 | 增量式直线光栅尺 | 绝对式直线光栅尺 | 增量式直线光栅尺 | 绝对式直线光栅尺 | 增量式直线光栅尺 | 绝对式直线光栅尺 | |
| 传感器信号 | 正弦/余弦，1Vpp | BiSS-C，32bit | 正弦/余弦，1Vpp | BiSS-C，32bit | 正弦/余弦，1Vpp | BiSS-C，32bit | 正弦/余弦，1Vpp | BiSS-C，32bit | |
| 传感器分辨率 | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | |
| 驱动性能 | V-571.025A1 | V-571.025B1 | V-571.050A1 | V-571.050B1 | V-571.075A1 | V-571.075B1 | V-571.100A1 | V-571.100B1 | 公差 |
| 驱动类型 | 无铁芯三相直线电机 | 无铁芯三相直线电机 | 无铁芯三相直线电机 | 无铁芯三相直线电机 | 无铁芯三相直线电机 | 无铁芯三相直线电机 | 无铁芯三相直线电机 | 无铁芯三相直线电机 | |
| 工作电压 | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | 60 V | |
| 标称电流，均方根 | 2.2 A | 2.2 A | 2.2 A | 2.2 A | 2.2 A | 2.2 A | 2.2 A | 2.2 A | typ. |
| 峰值电流，均方根 | 6.5 A | 6.5 A | 6.5 A | 6.5 A | 6.5 A | 6.5 A | 6.5 A | 6.5 A | typ. |
| X向的驱动力 | 7.1 N | 7.1 N | 7.1 N | 7.1 N | 7.1 N | 7.1 N | 7.1 N | 7.1 N | typ. |
| X向的峰值力 | 21 N | 21 N | 21 N | 21 N | 21 N | 21 N | 21 N | 21 N | |
| 力常数 | 3.5 N/A | 3.5 N/A | 3.5 N/A | 3.5 N/A | 3.5 N/A | 3.5 N/A | 3.5 N/A | 3.5 N/A | |
| 相间电阻 | 4.26 Ω | 4.26 Ω | 4.26 Ω | 4.26 Ω | 4.26 Ω | 4.26 Ω | 4.26 Ω | 4.26 Ω | typ. |
| 相间电感 | 0.53 mH | 0.53 mH | 0.53 mH | 0.53 mH | 0.53 mH | 0.53 mH | 0.53 mH | 0.53 mH | |
| 相间反电动势 | 3.85 V·s/m | 3.85 V·s/m | 3.85 V·s/m | 3.85 V·s/m | 3.85 V·s/m | 3.85 V·s/m | 3.85 V·s/m | 3.85 V·s/m | max. |
| 磁体俯仰角 | 19.05 mm | 19.05 mm | 19.05 mm | 19.05 mm | 19.05 mm | 19.05 mm | 19.05 mm | 19.05 mm | |
| 机械性能 | V-571.025A1 | V-571.025B1 | V-571.050A1 | V-571.050B1 | V-571.075A1 | V-571.075B1 | V-571.100A1 | V-571.100B1 | 公差 |
| Z向的允许推力 | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | max. |
| X向的移动质量，空载 | 400 g | 400 g | 500 g | 500 g | 650 g | 650 g | 1000 g | 1000 g | |
| 轴承类型 | 交叉滚柱轴承 | 交叉滚柱轴承 | 交叉滚柱轴承 | 交叉滚柱轴承 | 交叉滚柱轴承 | 交叉滚柱轴承 | 交叉滚柱轴承 | 交叉滚柱轴承 | |
| 总质量 | 900 g | 900 g | 1300 g | 1300 g | 1500 g | 1500 g | 2300 g | 2300 g | |
| 材料 | 硬膜铝（基体） | 硬膜铝（基体） | 硬膜铝（基体） | 硬膜铝（基体） | 硬膜铝（基体） | 硬膜铝（基体） | 硬膜铝（基体） | 硬膜铝（基体） | |
| 运动平台尺寸 | 95 × 95 mm | 95 × 95 mm | 140 × 95 mm | 140 × 95 mm | 185 × 95 mm | 185 × 95 mm | 210 × 95 mm | 210 × 95 mm | |
| 高度 | 33 mm | 33 mm | 33 mm | 33 mm | 33 mm | 33 mm | 33 mm | 33 mm | |
| 其他 | V-571.025A1 | V-571.025B1 | V-571.050A1 | V-571.050B1 | V-571.075A1 | V-571.075B1 | V-571.100A1 | V-571.100B1 | 公差 |
| 工作温度范围 | 5至50 °C | 5至50 °C | 5至50 °C | 5至50 °C | 5至50 °C | 5至50 °C | 5至50 °C | 5至50 °C | |
| 驱动器连接器 | D-sub 3W3（公头） | D-sub 3W3（公头） | D-sub 3W3（公头） | D-sub 3W3（公头） | D-sub 3W3（公头） | D-sub 3W3（公头） | D-sub 3W3（公头） | D-sub 3W3（公头） | |
| 传感器连接器 | D-sub 15（公头） | D-sub 15（公头） | D-sub 15（公头） | D-sub 15（公头） | D-sub 15（公头） | D-sub 15（公头） | D-sub 15（公头） | D-sub 15（公头） | |
| 推荐控制器/驱动器 | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x | A-81x, A-82x |
关于直线度与角度误差的说明：取决于安装基面的质量、负载、安装方向以及作用在平台的外力。 与具体应用相关的参数，请联系PI获取。 所列数值均在静态条件下测得（测量过程中无旋转运动），且为无负载状态。
关于定位精度的说明：所标注的数值基于控制器可实现的误差补偿。 为实现这些数值，定位器须与PI控制器一同订购。 精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。
关于速度、加速度和Z向允许推力的说明：可能受负载不平衡或控制器和驱动器的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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V-571.025B1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程25mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，BiSS-C，32位
V-571.050A1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程50mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；增量直线光栅尺，传感器分辨率1nm，正弦/余弦，1Vpp
V-571.050B1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程50mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，BiSS-C，32位
V-571.075A1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程75mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；增量直线光栅尺，传感器分辨率1nm，正弦/余弦，1Vpp
V-571.075B1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程75mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，BiSS-C，32位
V-571.100A1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程100mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；增量直线光栅尺，传感器分辨率1nm，正弦/余弦，1Vpp
V-571.100B1
超高精度纳米定位直驱线性平台；无铁芯三相直线电机；行程100mm；有效载荷50N；最大速度500mm/s；绝对直线光栅尺，传感器分辨率1nm，BiSS-C，32位
