Ultra-High Precision Linear Motor Stage for Long Travel Ranges

Ideal for Scanning, Measuring, Imaging, Optical Alignment

行程范围：160mm、260mm和360mm
直驱电机，效率及动态性能佳
交叉滚柱轴承，具有良好的直线度和平面度
配备增量或绝对光栅尺，可实现良好的精度、重复定位精度和安全性（绝对光栅尺）

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V-573，尺寸单位为mm

产品概述

V-573纳米定位线性平台旨在实现高准确性和重复精度、长寿命，并易于与其他PI平台及基于ACS的控制器集成。

与同样尺寸的线性位移台相比，V-573平台具有更优的线性轨迹性能。 V-573线性平台系列配备强劲的无齿槽直驱直线电机，适合在生产环境中使用。

绝对光栅尺型号不仅提供1nm的分辨率，还实现了安全、高效的启动，无需初始化或找参考位。非接触式直驱直线电机可提供高动态性能，且运行无摩擦、免维护。超高精度交叉滚柱轴承旨在实现平台全寿命周期的低维护运行。

V-573线性平台专为XY安装而设计，并兼容标准的基于ACS的A-8xx电子器件。

三相电机，动态性能更高，且运行无摩擦、免维护

V-573平台系列采用三相直线电机驱动，推力直接、无摩擦传递至运动平台。因此可避免动力传动系统中齿轮、丝杠等机械部件常见的齿隙与间隙问题。这些电机适合高速、高加速度应用，其无摩擦、免维护的设计确保了在严苛的24/7连续运行环境下的长久使用寿命。控制器支持电流限幅设置，便于快速禁用电机，降低平台及设备端的损伤风险。

交叉滚柱轴承提升承载能力、精度与使用寿命

其在运行平稳性、直线度与平面度方面表现颇佳，性能接近空气轴承。通过以线接触替代滚珠轴承的点接触，滚子刚性显著提高，所需预紧力更小。摩擦的降低带来了更平稳的运行、更低的噪音和更高的精度。交叉滚柱轴承还可承受更高的垂直载荷与力矩载荷。防蠕动机构可抑制滚子漂移，进一步提高可靠性。使用无尘室润滑脂，实现低维护运行。

增量和绝对光栅尺选配件

V-573平台配备了直线光栅尺，可直接在运动平台上进行高精度位置测量。这提升了线性度，并能避免间接位置反馈方法可能导致的机械间隙和弹性变形。输出1V_pp正弦/余弦信号的增量光栅尺需要归零信号以进行初始化。相比之下，绝对直线光栅尺可提供明确的位置信息，无需归零即可直接确定当前绝对位置。上电时无需执行回零操作，提升了运行效率与安全性。

选择合适的精密线性平台与运动控制器

在半导体检测、光子学对准等高精度运动应用中，选择合适的线性平台是充分实现系统性能的关键。选型时，需重点考量分辨率、导向精度及重复精度等指标。 V-573线性平台系列具备良好的几何精度（平面度、直线度、俯仰角和偏转角），以及±80纳米的双向重复定位精度。这些高速精密电动平台具有高动态性能，包括1g加速度和500mm/s速度，适合精密器件量产中所需的高精度自动化定位任务。

搭配PI的A-8xx系列运动控制器，这些平台可实现良好的运动性能。 PI基于EtherCAT的控制器具备高灵活性，便于无缝集成各类兼容EtherCAT的第三方设备。 A-8xx系列运动控制器采用PILOT等先进算法，可在降低电机电流的同时实现更高动态性能，相当于提升了电机的力常数。选择V-573，为您的运动控制应用带来准确、可靠而高效的体验。

附件和可选配件

光栅尺类型：1V_pp正弦/余弦（20µm或4µm）或带BiSS输出的绝对光栅尺
单轴或多轴，ACS运动控制器与伺服驱动器，集成式或分布式
电缆适配A-8xx系列基于ACS技术的控制器
多轴XY及XYZ位移台组合
花岗岩底座

应用领域

样品检测。精密微装配。研究。生物技术。半导体测试与检测。计量。通用自动化。设备组装。激光微加工。拾放作业。光学、微机械和光子学组件的对准。

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数据表

版本/日期

2026-08-05

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版本/日期

2026-08-05

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2026-08-05

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选择行程范围：

运动	V-573.160B1	V-573.260B1	V-573.360B1	V-573.160A1	V-573.260A1	V-573.360A1	V-573.160D1	V-573.260D1	V-573.360D1	公差
主动轴	X	X	X	X	X	X	X	X	X
X向的行程	160 mm	260 mm	360 mm	160 mm	260 mm	360 mm	160 mm	260 mm	360 mm
X向的加速度，空载	10 m/s²	10 m/s²	10 m/s²	10 m/s²	10 m/s²	10 m/s²	10 m/s²	10 m/s²	10 m/s²	max.
X向的最大速度，空载	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
Y向上的直线度误差（直线度）	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.75 µm	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.75 µm	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.75 µm	max.
Z向上的直线度误差（平面度）	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.75 µm	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.75 µm	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.75 µm	max.
绕Y的角度误差（俯仰角）	± 30 µrad	± 30 µrad	± 37.5 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	± 37.5 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	± 37.5 µrad	max.
绕Z的角度误差（偏转角）	± 25 µrad	± 25 µrad	± 30 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 30 µrad	± 25 µrad	± 25 µrad	± 30 µrad	max.
定位	V-573.160B1	V-573.260B1	V-573.360B1	V-573.160A1	V-573.260A1	V-573.360A1	V-573.160D1	V-573.260D1	V-573.360D1	公差
X向的已校准定位精度	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 0.2 µm	max.
X向的双向重复精度	0.2 µm	0.25 µm	0.25 µm	0.2 µm	0.25 µm	0.25 µm	0.2 µm	0.25 µm	0.25 µm	max.
参考点开关	—	—	—	参考点位于行程中间，1Vpp信号	参考点位于行程中间，1Vpp信号	参考点位于行程中间，1Vpp信号	参考点位于行程中间，1Vpp信号	参考点位于行程中间，1Vpp信号	参考点位于行程中间，1Vpp信号
集成传感器	绝对式直线光栅尺	绝对式直线光栅尺	绝对式直线光栅尺	增量式直线光栅尺	增量式直线光栅尺	增量式直线光栅尺	增量式直线光栅尺	增量式直线光栅尺	增量式直线光栅尺
传感器信号	BiSS-C，32bit	BiSS-C，32bit	BiSS-C，32bit	正弦/余弦，1Vpp	正弦/余弦，1Vpp	正弦/余弦，1Vpp	正弦/余弦，1Vpp	正弦/余弦，1Vpp	正弦/余弦，1Vpp
传感器分辨率	1 nm	1 nm	1 nm	—	—	—	—	—	—
传感器信号周期	—	—	—	20 µm	20 µm	20 µm	4 µm	4 µm	4 µm
驱动性能	V-573.160B1	V-573.260B1	V-573.360B1	V-573.160A1	V-573.260A1	V-573.360A1	V-573.160D1	V-573.260D1	V-573.360D1	公差
驱动类型	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机	无铁芯三相直线电机
标称电压	60 V	60 V	60 V	60 V	60 V	60 V	60 V	60 V	60 V
标称电流，均方根	7.2 A	7.2 A	7.2 A	7.2 A	7.2 A	7.2 A	7.2 A	7.2 A	7.2 A	typ.
峰值电流，均方根	24.8 A	24.8 A	24.8 A	24.8 A	24.8 A	24.8 A	24.8 A	24.8 A	24.8 A	typ.
X向的驱动力	140 N	140 N	140 N	140 N	140 N	140 N	140 N	140 N	140 N	typ.
X向的峰值力	480 N	480 N	480 N	480 N	480 N	480 N	480 N	480 N	480 N
力常数	19.4 N/A	19.4 N/A	19.4 N/A	19.4 N/A	19.4 N/A	19.4 N/A	19.4 N/A	19.4 N/A	19.4 N/A
相间电阻	2.56 Ω	2.56 Ω	2.56 Ω	2.56 Ω	2.56 Ω	2.56 Ω	2.56 Ω	2.56 Ω	2.56 Ω	typ.
相间电感	2 mH	2 mH	2 mH	2 mH	2 mH	2 mH	2 mH	2 mH	2 mH
相间反电动势	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	22.5 V·s/m	max.
N-N极距	42 mm	42 mm	42 mm	42 mm	42 mm	42 mm	42 mm	42 mm	42 mm
机械性能	V-573.160B1	V-573.260B1	V-573.360B1	V-573.160A1	V-573.260A1	V-573.360A1	V-573.160D1	V-573.260D1	V-573.360D1	公差
Z向的允许推力	300 N	300 N	300 N	300 N	300 N	300 N	300 N	300 N	300 N	max.
X向的移动质量，空载	4100 g	6200 g	7500 g	4100 g	6200 g	7500 g	4100 g	6200 g	7500 g
轴承类型	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承	交叉滚柱轴承
总质量	9500 g	12500 g	14500 g	9500 g	12500 g	14500 g	9500 g	12500 g	14500 g
材料	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）	硬膜铝（基体）
运动平台尺寸	350 × 180 mm	450 × 180 mm	550 × 180 mm	350 × 180 mm	450 × 180 mm	550 × 180 mm	350 × 180 mm	450 × 180 mm	550 × 180 mm
高度	75 mm	75 mm	75 mm	75 mm	75 mm	75 mm	75 mm	75 mm	75 mm
其他	V-573.160B1	V-573.260B1	V-573.360B1	V-573.160A1	V-573.260A1	V-573.360A1	V-573.160D1	V-573.260D1	V-573.360D1	公差
工作温度范围	5至50 °C	5至50 °C	5至50 °C	5至50 °C	5至50 °C	5至50 °C	5至50 °C	5至50 °C	5至50 °C
接头	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）	D-sub 3W3（公头）
传感器连接器	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）	D-sub 15（公头）
推荐控制器/驱动器	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x	A-81x, A-82x

关于直线度和角度偏差的说明：取决于底面质量、有效载荷、方向以及从外部作用于平台的力。与具体应用相关的参数，请联系PI获取。所列数值均在静态条件下测得（测量过程中无旋转运动），且为无负载状态。

关于定位精度的说明：所标注的数值基于控制器所实现的误差补偿。为实现这些数值，定位器须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。

关于速度、加速度和Z向允许推力的说明：可能受载荷不平衡、控制器或驱动器性能的限制。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

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