P-518 • P-528 • P-558 压电陶瓷Z向/偏摆平台
高动态,带大通光孔径
- 三轴Z向和偏摆平台 / 单轴Z向位移台
- 垂直偏摆角达200微米/2毫弧度,闭环(开环达240 微米/2.4 毫弧度)
- 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 通光孔径为66 毫米 × 66 毫米
- 电容式传感器带来最高线性度
应用领域
- 计量
- 干涉测量
- 光子学/集成光学
- 平版印刷术
- 纳米定位
- 扫描显微镜
- 样本对准
- 微加工
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
规格
规格
P-558.ZCDP-558.ZCL | P-558.TCD | P-518.ZCDP-518.ZCL | P-518.TCD | P-528.ZCDP-528.ZCL | P-528.TCD | 单位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
主动轴 | Z | Z, θX, θY | Z | Z, θX, θY | Z | Z, θX, θY | ||
运动和定位 | ||||||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | ||
-20至120 伏时Z向上的开环行程 | 60 | 60 | 140 | 140 | 240 | 240 | 微米 | +20 % / -0 % |
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角 | – | ±0.3 | – | ±0.7 | – | ±1.2 | 毫弧度 | +20 % / -0 % |
Z向上的闭环行程 | 50 | 50 | 100 | 100 | 200 | 200 | 微米 | |
θX、θY向上的闭环偏摆角 | – | ±0.25 | – | ±0.5 | – | ±1 | 毫弧度 | |
Z向上的开环分辨率 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.6 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的开环分辨率 | – | 0.02 | – | 0.04 | – | 0.06 | 微弧度 | 典型值 |
Z向上的闭环分辨率 | 0.5 | 0.5 | 0.8 | 0.8 | 1 | 1 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的闭环分辨率 | – | 0.05 | – | 0.05 | – | 0.1 | 微弧度 | 典型值 |
θX、θY向上的线性误差 | – | 0.03 | – | 0.03 | – | 0.03 | % | 典型值 |
Z向上的重复精度 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±10 | ±10 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的重复精度 | – | ±0.03 | – | ±0.05 | – | ±0.1 | 微弧度 | 典型值 |
θZ向上的串扰(Z向运动) | <10 | <10 | <10 | <10 | <20 | <20 | 微弧度 | 典型值 |
θX、θY向上的串扰(Z向运动) | <50 | <50 | <50 | <50 | <100 | <100 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | ||||||||
Z向上的刚性 | 4 | 4 | 2.7 | 2.7 | 1.5 | 1.5 | 牛/微米 | ±20 % |
Z向上的空载谐振频率 | 570 | 570 | 500 | 500 | 350 | 350 | 赫兹 | ±20 % |
θX、θY向上的空载谐振频率 | – | 610 | – | 530 | – | 390 | 赫兹 | ±20 % |
带500克负载时Z向上的谐振频率 | 410 | 410 | 350 | 350 | 210 | 210 | 赫兹 | ±20 % |
带500克负载时θX、θY向上的谐振频率 | – | 430 | – | 370 | – | 250 | 赫兹 | ±20 % |
带2500克负载时Z向上的谐振频率 | 245 | 245 | 200 | 200 | 130 | 130 | 赫兹 | ±20 % |
带2500克负载时θX、θY向上的谐振频率 | – | 240 | – | 190 | – | 115 | 赫兹 | ±20 % |
负载能力* | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 千克 | 最大 |
驱动特性 | ||||||||
压电陶瓷 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
电容 | 6 | 6 | 8.4 | 8.4 | 14.8 | 14.8 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||||||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
尺寸 | 150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米 | 150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米 | 150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米 | 150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米 | 150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米 | 150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米 | ||
质量 | 1380 | 1380 | 1400 | 1400 | 1420 | 1420 | 克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器/电压连接 | CL版本:LEMO CD版本:Sub-D 7W2(公) | Sub-D25W3(公头) | CL版本:LEMO CD版本:Sub-D 7W2(公) | Sub-D25W3(公头) | CL版本:LEMO CD版本:Sub-D 7W2(公) | Sub-D25W3(公头) | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 |
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产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
数据表
文件
Technical Note P500T0002
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
用户使用手册PZ82
具有电容传感器的P-517、P-518、P-527、P-528、P-558压电纳米定位系统
3D模型
P-5x8 3-D模型
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