P-518 • P-528 • P-558 压电陶瓷Z向/偏摆平台

高动态，带大通光孔径

三轴Z向和偏摆平台 / 单轴Z向位移台
垂直偏摆角达200微米/2毫弧度，闭环（开环达240 微米/2.4 毫弧度）
并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
零间隙，高精度柔性铰链导向系统
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
通光孔径为66 毫米 × 66 毫米
电容式传感器带来最高线性度

P-518 • P-528 • P-558Z向位移台，尺寸单位为毫米

P-518 • P-528 • P-558Z向和偏摆平台，尺寸单位为毫米

计量
干涉测量
光子学/集成光学
平版印刷术
纳米定位
扫描显微镜
样本对准
微加工

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

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数据表

版本/日期

2022-03-23

pdf - 1 MB

版本/日期

2022-03-23

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版本/日期

2018-07-16

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版本/日期

2018-07-10

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	P-558.ZCDP-558.ZCL	P-558.TCD	P-518.ZCDP-518.ZCL	P-518.TCD	P-528.ZCDP-528.ZCL	P-528.TCD	单位	公差
主动轴	Z	Z, θ_X, θ_Y	Z	Z, θ_X, θ_Y	Z	Z, θ_X, θ_Y
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式	电容式	电容式	电容式	电容式
-20至120 伏时Z向上的开环行程	60	60	140	140	240	240	微米	+20 % / -0 %
θ_X、θ_Y向上-20至120 伏时的开环偏摆角	–	±0.3	–	±0.7	–	±1.2	毫弧度	+20 % / -0 %
Z向上的闭环行程	50	50	100	100	200	200	微米
θ_X、θ_Y向上的闭环偏摆角	–	±0.25	–	±0.5	–	±1	毫弧度
Z向上的开环分辨率	0.2	0.2	0.2	0.4	0.6	0.6	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的开环分辨率	–	0.02	–	0.04	–	0.06	微弧度	典型值
Z向上的闭环分辨率	0.5	0.5	0.8	0.8	1	1	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的闭环分辨率	–	0.05	–	0.05	–	0.1	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的线性误差	–	0.03	–	0.03	–	0.03	%	典型值
Z向上的重复精度	±5	±5	±5	±5	±10	±10	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的重复精度	–	±0.03	–	±0.05	–	±0.1	微弧度	典型值
θ_Z向上的串扰（Z向运动）	<10	<10	<10	<10	<20	<20	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的串扰（Z向运动）	<50	<50	<50	<50	<100	<100	微弧度	典型值
机械特性
Z向上的刚性	4	4	2.7	2.7	1.5	1.5	牛/微米	±20 %
Z向上的空载谐振频率	570	570	500	500	350	350	赫兹	±20 %
θ_X、θ_Y向上的空载谐振频率	–	610	–	530	–	390	赫兹	±20 %
带500克负载时Z向上的谐振频率	410	410	350	350	210	210	赫兹	±20 %
带500克负载时θ_X、θ_Y向上的谐振频率	–	430	–	370	–	250	赫兹	±20 %
带2500克负载时Z向上的谐振频率	245	245	200	200	130	130	赫兹	±20 %
带2500克负载时θ_X、θ_Y向上的谐振频率	–	240	–	190	–	115	赫兹	±20 %
负载能力*	5	5	5	5	5	5	千克	最大
驱动特性
压电陶瓷	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885
电容	6	6	8.4	8.4	14.8	14.8	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝
尺寸	150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米	150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米	150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米	150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米	150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米	150 毫米 × 150 毫米 × 30 毫米
质量	1380	1380	1400	1400	1420	1420	克	±5 %
电缆长度	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	米	±10 毫米
传感器/电压连接	CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 7W2（公）	Sub-D25W3（公头）	CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 7W2（公）	Sub-D25W3（公头）	CL版本：LEMO CD版本：Sub-D 7W2（公）	Sub-D25W3（公头）
推荐电控	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754