P-562.6CD
PIMars6轴纳米定位平台；行程200µm × 200µm × 200µm (X × Y × Z)；旋转角度1mrad × 1mrad × 1mrad (θX × θY × θZ)；电容式间接位置测量；2 × 200 25W3 (m) 连接器；电缆长度1.5m
P-562.6CD PIMars6轴纳米定位平台
具备六自由度的高精度纳米定位器
- 6个运动轴：3 × 线性，3 × 旋转
- 线性行程可达200µm，偏摆角可达1mrad
- 并联运动，响应更快，多轴精度更高
- 采用电容传感器，线性度更高
- 零间隙高精度柔性铰链导向系统
- 扫描平面度颇佳
- 通光孔径66mm×66mm
- PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
P-562.6CD，尺寸单位为mm。 请注意，图纸中以逗号作为小数点分隔符。
P-562.6CD PIMars6轴纳米定位平台
产品描述
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应用领域
• 扫描显微镜
• 超分辨率显微镜
• 生物技术
• 掩模/晶圆定位
• 样本定位
• 干涉测量
• 计量
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。 它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零游隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。 其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械单元与控制器可按需组合，更换快捷。 所有伺服与线性化参数均存储在机械单元D-sub连接器的ID芯片中。 每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
所有自由度均以同一固定参考基准进行测量 轴间的非预期串扰可实时主动补偿（主动导向；取决于系统带宽）。 即使在动态操作下，也能保持纳米级高跟踪精度。
规格
规格
| 运动 | P-562.6CD | 公差 |
|---|---|---|
| 主动轴 | X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ | |
| X向的行程 | 200 µm | |
| Y向的行程 | 200 µm | |
| Z向的行程 | 200 µm | |
| θX向的旋转范围 | ± 0.5 mrad | |
| θY向的旋转范围 | ± 0.5 mrad | |
| θZ向的旋转范围 | ± 0.5 mrad | |
| X向的线性误差 | 0.03 % | |
| Y向的线性误差 | 0.03 % | |
| Z向的线性误差 | 0.03 % | |
| θX向的线性误差 | 0.1 % | typ. |
| θY向的线性误差 | 0.1 % | typ. |
| θZ向的线性误差 | 0.1 % | typ. |
| 平面度 | < 15 nm | typ. |
| 定位 | P-562.6CD | 公差 |
| X向的单向重复精度 | ± 2 nm | typ. |
| Y向的单向重复精度 | ± 2 nm | typ. |
| Z向的单向重复精度 | ± 3 nm | typ. |
| θX向的单向重复精度 | ± 0.1 µrad | typ. |
| θY向的单向重复精度 | ± 0.1 µrad | typ. |
| θZ向的单向重复精度 | ± 0.15 µrad | typ. |
| 集成传感器 | 电容式，间接位置测量 | |
| X向的系统分辨率 | 1 nm | typ. |
| Y向的系统分辨率 | 1 nm | typ. |
| Z向的系统分辨率 | 1 nm | typ. |
| θX向的系统分辨率 | 0.1 µrad | typ. |
| θY向的系统分辨率 | 0.1 µrad | typ. |
| θZ向的系统分辨率 | 0.1 µrad | typ. |
| 驱动性能 | P-562.6CD | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | |
| X向的电容 | 7.4 µF | ±20 % |
| Y向的电容 | 7.4 µF | ±20 % |
| Z向的电容 | 14.8 µF | ±20 % |
| 机械性能 | P-562.6CD | 公差 |
| X向的谐振频率，空载 | 110 Hz | ±20 % |
| Y向的谐振频率，空载 | 110 Hz | ±20 % |
| Z向的谐振频率，空载 | 190 Hz | ±20 % |
| X向的允许推力 | 50 N | max. |
| Y向的允许推力 | 50 N | max. |
| Z向的允许推力 | 60 N | max. |
| X向的允许拉力 | 40 N | max. |
| Y向的允许拉力 | 40 N | max. |
| Z向的允许拉力 | 60 N | max. |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 1450 g | ±5 % |
| 材料 | 铝 | |
| 其他 | P-562.6CD | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | |
| 接头 | 2 × D-sub 25W3（公头） | |
| 电缆长度 | 1.5 m | ±10 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-713 PICMA |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
可按需提供特高真空兼容至10-9 hPa的版本以及其他行程范围的版本。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
