专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
主动轴
X、Y、Z
集成传感器
电容式
-20至120 伏时的开环行程
115 微米×115 微米×12 微米
33 微米×33 微米×14 微米
+20 % / -0 %
行程，闭环
100 微米×100 微米×10 微米
30 微米×30 微米×10 微米
分辨率，开环
0.2（Z向上为0.1）
0.1
纳米
典型值
分辨率，闭环
0.3（Z向上为0.2）
线性误差（X、Y）
0.03
0.03*
%
线性误差（Z）
重复精度（X、Y）
<2
重复精度（Z）
<1
螺距（X、Y）
<±3
<±5
微弧度
偏转角（X、Y）
<±10
Z向运动时的倾斜
刚度
1.4（Z向上为9）
4（Z向上为10）
牛/微米
±20 %
谐振频率，空载
460（Z向上为1400）
1200（Z向上为1100）
赫兹
带120 克负载时的谐振频率
340（Z向上为1060）
–
带200 克负载时的谐振频率
295（Z向上为650）
530（Z向上为635）
运动方向上的推/拉力
50 / 20
牛
最大
压电陶瓷
PICMAP-885
电容
6（Z向上为2.4）
6.2（Z向上为3.3）
微法
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝
质量
0.675
千克
±5 %
电缆长度
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
CD版本：Sub-D 25W3（公头）
CL版本：LEMO
Sub-D25W3（公头）
推荐电控
E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712
具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统
P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。所有线上有货的产品均可直接订购。
通过电子邮件或电话从当地PI销售工程师处快速获取解答。
利用多层促动器的专利制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命
认真处理、充足空间：PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备，同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。
来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
数字技术为提高不存在于传统模拟技术的控制工程的性能开辟了可能性。
电容传感器是最苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。
