S-310 • S-316 压电Z向/偏摆扫描仪
带孔径的高动态系统
- 通光孔径为10毫米
- 三脚压电陶瓷驱动
- 线性行程达12微米(移相器)
- 亚微秒级响应时间
- 亚纳弧度级分辨率
- 闭环版本可实现更高精度
应用领域
- 图像处理/稳定
- 激光扫描/光束偏转
- 激光调谐
- 光学过滤器/开关
- 激光束稳定
- 干涉测量
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损且无需润滑。其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在较宽的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联运动多轴系统中,所有促动器均作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
规格
该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。规格
S-310.10 | S-314.10 | S-311.10 | S-315.10 | S-316.10 S-316.10H | 单位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
主动轴 | Z | Z | Z、θX、θY | Z、θX、θY | Z、θX、θY | ||
运动和定位 | |||||||
集成传感器 | – | – | – | – | 应变片传感器 | ||
0至100伏时Z向上的开环行程 | 6 | 12 | 6 | 12 | 12 | 微米 | +20% / -0% |
0至100伏时的开环偏摆角 | – | – | 600 | 1200 | 1200 | 微弧度 | +20% / -0% |
Z向上的闭环行程 | – | – | – | – | 12 | 微米 | |
偏摆角,闭环 | – | – | – | – | 1200 | 微弧度 | |
Z向上的开环分辨率 | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的开环分辨率 | – | – | 0.02 | 0.05 | 0.05 | 微弧度 | 典型值 |
Z向上的闭环分辨率 | – | – | – | – | 0.4 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的闭环分辨率 | – | – | – | – | 0.1 | 微弧度 | 典型值 |
线性误差 | – | – | – | – | 0.2 | % | 典型值 |
机械特性 | |||||||
Z向上的刚性 | 20 | 10 | 20 | 10 | 10 | 牛/微米 | ±20% |
Z向上的空载谐振频率 | 9.5 | 5.5 | 9.5 | 5.5 | 5.5 | 千赫兹 | ±20% |
带负载时的谐振频率(带15毫米 × 4毫米的玻璃反射镜) | 6.5 | 4.4 | 6.5 | 4.1 | 4.1 | 千赫兹 | ±20% |
带负载时的谐振频率(带20毫米 × 4毫米的玻璃反射镜) | 6.1 | 4.2 | 6.1 | 3.4 | 3.4 | 千赫兹 | ±20% |
枢轴点至平台表面的距离 | – | – | 5 | 5 | 5 | 毫米 | ±0.5毫米 |
平台惯性力矩 | – | – | 150 | 150 | 150 | 克 × 平方毫米 | ±20% |
驱动特性 | |||||||
陶瓷类型 | PICMA P-882 | PICMA P-882 | PICMA P-882 | PICMA P-882 | PICMA P-882 | ||
电容 | 0.39 | 0.93 | 0.39(每轴0.13) | 0.93(每轴0.31) | 0.93(每轴0.31) | 微法 | ±20% |
其他 | |||||||
工作温度范围 | -20至80 | -20至80 | -20至80 | -20至80 | -20至80 | 摄氏度 | |
材料 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | ||
质量 | 0.053 | 0.055 | 0.045 | 0.055 | 0.055 | 千克 | ±5% |
电缆长度 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 米 | +100毫米/-0毫米 |
电压连接 | LEMO | LEMO | LEMO | LEMO | S-316.10: LEMO S-316.10H: D-sub 37针(公头) | ||
传感器连接 | – | – | – | – | S-316.10: LEMO S-316.10H: D-sub 37针(公头) | ||
推荐电控 | E-505、E-610 | E-505、E-610 | E-503、E-505、E-610 | E-503、E-505、E-610 | S-316.10: E-503、E-505、E-509、E-610、E-625 S-316.10H: E-727 |
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产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
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S-316 3-D模型
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