S-310 • S-316 压电Z向/偏摆扫描仪

带孔径的高动态系统

S-310 • S-316 压电Z向/偏摆扫描仪
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  • 通光孔径为10毫米
  • 三脚压电陶瓷驱动
  • 线性行程达12微米(移相器)
  • 亚微秒级响应时间
  • 亚纳弧度级分辨率
  • 闭环版本可实现更高精度

应用领域

  • 图像处理/稳定
  • 激光扫描/光束偏转
  • 激光调谐
  • 光学过滤器/开关
  • 激光束稳定
  • 干涉测量

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损且无需润滑。其刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在较宽的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联运动实现高动态多轴操作

并联运动多轴系统中,所有促动器均作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。

规格

该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。

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文件

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简短说明PZ277EK

S-3xx压电陶瓷偏摆台
版本/日期
1.2.0 03/2020
版本/日期
1.2.0 03/2020
文件语言
pdf - 1 MB
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文件

用户使用手册S310T0001

S-310、S-311、S-314、S-315、S-316压电Z/偏摆扫描仪
版本/日期
2019-10-15
文件语言 English
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