S-310 • S-316 压电Z向/偏摆扫描仪

主动轴

Z

Z

Z, θ_X, θ_Y

Z, θ_X, θ_Y

Z, θ_X, θ_Y

集成传感器

–

–

–

–

应变片传感器

0至100 伏时Z向上的开环行程

6 / –

12 / –

6 / –

12 / –

12 / 12

微米

+20 % / -0 %

0至100 伏时的偏摆角，开环

–

–

600

1200

1200

微弧度

+20 % / -0 %

Z向上的闭环行程

–

–

–

–

12

微米

偏摆角，闭环

–

–

–

–

1200

微弧度

Z向上的开环分辨率

0.1

0.2

0.1

0.2

0.2

纳米

典型值

θ_X、θ_Y向上的开环分辨率

–

–

0.02

0.05

0.05

微弧度

典型值

Z向上的闭环分辨率

–

–

–

–

0.4

纳米

典型值

θ_X、θ_Y向上的闭环分辨率

–

–

–

–

0.1

微弧度

典型值

线性误差

–

–

–

–

0.2

%

典型值

Z向上的刚性

20

10

20

10

10

牛/微米

±20 %

Z向上的空载谐振频率

9.5

5.5

9.5

5.5

5.5

千赫兹

±20 %

带负载时的谐振频率（带15 毫秒 × 4 毫米的玻璃反射镜）

6.5

4.4

6.5

4.1

4.1

千赫兹

±20 %

带负载时的谐振频率（带20 毫秒 × 4 毫米的玻璃反射镜）

6.1

4.2

6.1

3.4

3.4

千赫兹

±20 %

枢轴点至平台表面的距离

–

–

5

5

5

毫米

±0.5 毫米

平台 惯性力矩

–

–

150

150

150

克 × 平方毫米

±20 %

陶瓷类型

PICMAP-882

PICMAP-882

PICMAP-882

PICMAP-882

PICMAP-882

电容

0.39

0.93

0.39（每轴0.13）

0.93（每轴0.31）

0.93（每轴0.31）

微法

±20 %

工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

-20 到 80

°C

材料

钢

钢

钢

钢

钢

质量

0.053

0.055

0.045

0.055

0.055

千克

±5 %

电缆长度

2

2

2

2

2

米

+100毫米/-0毫米

电压连接

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

S-316.10：

LEMO

S-316.10H：

Sub-D 37（公头）

传感器连接

–

–

–

–

S-316.10：

LEMO

S-316.10H：

Sub-D 37（公头）

推荐电控

E-505、E-610、E-625、E-727

E-505、E-610、E-625、E-727

E-505、E-610、E-625、E-727

E-505、E-610、E-625、E-727

E-505、E-610、E-625、E-727