S-310 • S-316 压电Z向/偏摆扫描仪

带孔径的高动态系统

通光孔径为10毫米
三脚压电陶瓷驱动
线性行程达12微米（移相器）
亚微秒级响应时间
亚纳弧度级分辨率
闭环版本可实现更高精度

S-31x，尺寸单位为毫米。符合DIN ISO 2768-f-H的通用公差适用于所有非容许尺寸。

S-315，电缆配置

S-316，电缆配置

图像处理/稳定
激光扫描/光束偏转
激光调谐
光学过滤器/开关
激光束稳定
干涉测量

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损且无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在较宽的温度范围内工作。

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

在并联运动多轴系统中，所有促动器均作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。

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该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。

	S-310.10	S-314.10	S-311.10	S-315.10	S-316.10 S-316.10H	单位	公差
主动轴	Z	Z	Z、θ_X、θ_Y	Z、θ_X、θ_Y	Z、θ_X、θ_Y
运动和定位
集成传感器	–	–	–	–	应变片传感器
0至100伏时Z向上的开环行程	6	12	6	12	12	微米	+20% / -0%
0至100伏时的开环偏摆角	–	–	600	1200	1200	微弧度	+20% / -0%
Z向上的闭环行程	–	–	–	–	12	微米
偏摆角，闭环	–	–	–	–	1200	微弧度
Z向上的开环分辨率	0.1	0.2	0.1	0.2	0.2	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的开环分辨率	–	–	0.02	0.05	0.05	微弧度	典型值
Z向上的闭环分辨率	–	–	–	–	0.4	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的闭环分辨率	–	–	–	–	0.1	微弧度	典型值
线性误差	–	–	–	–	0.2	%	典型值
机械特性
Z向上的刚性	20	10	20	10	10	牛/微米	±20%
Z向上的空载谐振频率	9.5	5.5	9.5	5.5	5.5	千赫兹	±20%
带负载时的谐振频率（带15毫米 × 4毫米的玻璃反射镜）	6.5	4.4	6.5	4.1	4.1	千赫兹	±20%
带负载时的谐振频率（带20毫米 × 4毫米的玻璃反射镜）	6.1	4.2	6.1	3.4	3.4	千赫兹	±20%
枢轴点至平台表面的距离	–	–	5	5	5	毫米	±0.5毫米
平台惯性力矩	–	–	150	150	150	克 × 平方毫米	±20%
驱动特性
陶瓷类型	PICMA P-882	PICMA P-882	PICMA P-882	PICMA P-882	PICMA P-882
电容	0.39	0.93	0.39（每轴0.13）	0.93（每轴0.31）	0.93（每轴0.31）	微法	±20%
其他
工作温度范围	-20至80	-20至80	-20至80	-20至80	-20至80	摄氏度
材料	钢	钢	钢	钢	钢
质量	0.053	0.055	0.045	0.055	0.055	千克	±5%
电缆长度	2	2	2	2	2	米	+100毫米/-0毫米
电压连接	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	S-316.10： LEMO S-316.10H： D-sub 37针（公头）
传感器连接	–	–	–	–	S-316.10： LEMO S-316.10H： D-sub 37针（公头）
推荐电控	E-505、E-610	E-505、E-610	E-503、E-505、E-610	E-503、E-505、E-610	S-316.10： E-503、E-505、E-509、E-610、E-625 S-316.10H： E-727