E-509.E03和E-509.E3可作为E-500 / E-501机架的插接式模块供货，用于PISeca系列的高分辨率电容式单板传感器：
E-509.E03
E-509.E3
功能
传感器评估电控用于PISeca
传感器/伺服控制器模块用于PISeca
轴
3
支持功能
ILS（内置线性化系统）
传感器
控制器类型
–
模拟P-I和陷波滤波器
传感器类型
PISeca单电极，电容式
传感器通道
传感器带宽
0.3至10 千赫兹（可调节）
量程扩展因子1
1（默认），2 / 2.5 / 5（可选）
噪声因数
0.14百万分之/根号赫兹2
外同步
3个同步通道
热漂移
<1 毫伏/摄氏度
静态分辨率3
<量程的0.001 %（RMS）
动态分辨率3
<量程的0.002 %（RMS）
标称量程内的线性误差
<0.1%（D-510.020：<0.2 %）
<0.1 %
电气性能
输出电压
0到10伏
-5至5伏，-10至0伏（可选）
0至10伏
接口和操作
传感器连接
3个LEMO ECP.00.650.NLL.543三轴插座
信号输出
LEMO 6针FGG.0B.306.CLAD56
线性化
其他
工作温度范围
5到40°C
5至40摄氏度
尺寸
7HP/3U
质量
0.3千克
目标接地器
3个蕉形插座，4毫米
电源电压
±15伏，通过E-500系统供电
E-509传感器/压电伺服控制模块
E-500/E-501系列模块化压电控制器：底盘带电源、放大器模块（E-503、E-504、E-505、E-506、E-508）、传感器和伺服控制模块（E-509）、显示和接口模块（E-515、E-517）。
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