Q-622 Q-Motion®小型转台
最小尺寸:转台直径为22毫米
- 宽仅22毫米、高仅10毫米
- 采用增量编码器实现直接位置测量,编码器分辨率为0.55微弧度
- 最小位移高达2.2微弧度
- 速度为70度/秒
- 可安装在Q-522线性平台上,无需转接器
- 适用于高达10-6百帕的真空环境,还可提供用于真空达10-9百帕的版本
Q-622 Q-Motion®小型转台
产品描述
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压电惯性驱动器
压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀,移动转子。由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在动轮上,实现最大为70度/秒的速度
应用领域
微装配, 光子, 光学对准, 显微镜, 高能束线设备, 半导体技术, 测试
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产品注解
产品注解
Product Change Notification Q-xxx; N-765
版本/日期
2019-03-26
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文件
3D模型
3D模型
Q-622 3-D模型
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