S-330 压电偏摆台

高动态，带大偏转角用于反射镜和光学元件

偏摆角度达10毫弧度，光学偏转角度达20毫弧度（>1度）
高谐振频率可达1.6千赫兹（1英寸反射镜），可实现动态运动以及快速步进和稳定
分辨率达20纳弧度
优异的位置稳定性
亚毫秒级响应时间
用于直径长达50毫米的反射镜

S-330.xSH，尺寸单位为毫米。

带电缆分线箱的S-330.xSL；尺寸单位为毫米。

在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应：S-330.2SH

在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应：S-330.8SH

图像处理/稳定
光学捕获
激光扫描/光束偏转
激光调谐
光学过滤器/开关
光学
激光束稳定

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损且无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

在并联运动多轴系统中，所有促动器均作用于同一个运动平台。所有轴均具有最小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。

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该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。

	S-330.2SH / S-330.2SL	S-330.4SH / S-330.4SL	S-330.8SH / S-330.8SL	单位	公差
主动轴	θ_X、θ_Y	θ_X、θ_Y	θ_X、θ_Y
运动和定位
集成式传感器*	应变片传感器	应变片传感器	应变片传感器
θ_X、θ_Y向上-20至120伏时的开环偏摆角	3.5	7	15	毫弧度	最小
θ_X、θ_Y向上的闭环偏摆角	2	5	10	毫弧度
θ_X、θ_Y向上的开环分辨率	0.02	0.1	0.2	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的闭环分辨率	0.05	0.25	0.5	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的线性误差	0.05 **	0.1 **	0.1 **	%	典型值
θ_X、θ_Y向上的重复精度，10 %偏摆角	0.06 **	0.08 **	0.15 **	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的重复精度，100 %偏摆角	0.6 **	0.8 **	1.5 **	微弧度	典型值
机械特性
θ_X、θ_Y向上的空载谐振频率	2.4	2.0	1.0	千赫兹	±20 %
θ_X、θ_Y向上带负载时的谐振频率（带玻璃反射镜，直径25毫米，厚度8毫米）	1.6	1.5	1.0	千赫兹	±20 %
枢轴点至平台表面的距离	6.5	6.5	6.5	毫米	±1 毫米
平台惯性力矩	1530	1530	1530	克 × 平方毫米	±20 %
驱动特性
陶瓷类型	PICMA	PICMA	PICMA
电容	3/轴	6/轴	12.5/轴	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20至80	-20至80	-20至80	摄氏度
外壳材料	钢	钢	钢
平台材料	殷钢	殷钢	殷钢
质量	0.2	0.38	0.7	千克	±5 %
电缆长度	2	2	2	米	+100毫米/-0毫米
传感器/电压连接器	SH版本：D-sub 37针（公头） SL版本：LEMO	SH版本：D-sub 37针（公头） SL版本：LEMO	SH版本：D-sub 37针（公头） SL版本：LEMO
推荐电控	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00，E-727	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00，E-727	E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00，E-727