实现高速XYZ定位的亚纳米级分辨率

面向新一代扫描、对准与计量应用的压电纳米级定位平台

  • 高达300 µm的行程和低于10 ms的步进和稳定时间,提升生产率

  • 99.97%线性度与2 nm重复精度,确保出众精度

  • 精选型号迅速交付,加速项目成功


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PIMars XYZ压电平台突破了扫描、对准与计量领域的精度极限。 它们将亚纳米分辨率、高刚性与动态响应融为一体,为新一代科研与制造提供所需的精度和速度。

Aysenur Ünal,PI产品经理(压电系统与促动器)

精密应用纳米定位平台的六大核心优势

  • 非常精密的运动,易于集成: 电容传感器实现亚纳米级分辨率、99.97%线性度及长期稳定性。 优良的扫描平面度(Z向运动±30 nm的直线度和平面度)和紧凑尺寸,即使在空间受限的设备中,仍可确保准确的平面运动与便捷的集成。
  • 灵活光学通路: 通光孔径支持透射光与光束对准任务,适配光子学与显微应用。
  • 出众稳定性: 零间隙柔性导向机构实现高刚性的无磨损、无摩擦运动,具备抗冲击、抗振动和抗温度变化能力。
  • 高动态性能: 采用压电驱动与并行位置测量技术,实现实时串扰补偿与高速运行下的纳米级运动精度,可在科研与工业领域有效提高产量、改进质量控制并降低成本。
  • 出众耐久性: 全绝缘PICMA®压电陶瓷促动器的使用寿命达到传统产品的10倍,可靠性经千亿次循环验证。
  • 迅速供货: P-561、P-562和P-563型号备有库存,确保迅速交货。

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  • 虚拟测量: 预先核查规格参数

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三轴压电陶瓷纳米级定位器技术参数速览

  • 规格参数表
  • 技术图纸与示意图
  • 可选型号

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常见问题解答

PI的XYZ纳米定位平台尤其适合高精度要求的应用,包括:

  • 显微成像与生命科学: 超分辨率、共聚焦和原子力显微成像、Z轴堆叠、活细胞研究及生物纳米技术。 出众的扫描平面度,确保清晰的3D图像。
  • 纳米技术: 面向科研与工业应用的纳米结构精密操控与组装。
  • 光子学与光学: 光纤和光学对准、干涉测量及精密光学调整。 中央孔径支持透射光及光束对准任务。
  • 半导体与计量: 晶圆检测、光刻、掩膜对准和缺陷检测等纳米级精度与高动态性能至关重要的应用。

XYZ平台提供45、100、200或300 µm等行程,覆盖扫描、晶圆定位与干涉测量领域。

配备自动配置、迅速组件更换功能,结合PI的压电控制器、软件及数据库完整解决方案,集成过程简单有效。 紧凑型设计,可轻松安装于空间受限的设备。

电容传感器结合闭环控制实时监测实际位置,主动补偿滞后和蠕变,实现可重复的亚纳米精度。

纳米定位平台是现代科研与制造业的核心。 它们提供半导体、光子学和生物纳米技术突破所必需的亚纳米精度、稳定性与速度

是。 采用无聚合物、无润滑剂设计,确保低放气特性,理想适配高真空与特高真空环境(低至10⁻⁹ hPa)。 PIMars系列平台可提供最多六轴的复杂多维定位方案以及真空和低温兼容版本,交货周期按需定制

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