- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
精密的XY位移平台，可实现高运动精度和稳定性
这些紧凑型定位系统可沿X和Y方向工作，其行程为100至300毫米，速度可达500毫米/秒，并且能够以高重复精度定位（单向重复精度可达0.05微米）。集成的高分辨率线性编码器直接在平台上测量位置；因此，非线性效应、机械游隙或弹性变形不会对位置测量造成任何影响。此外，具有平坦轮廓的平面设计很大程度地减少了堆叠误差并提高了刚度。100毫米的变型（图）在中心同样具有大孔径，因此可以从上方或下方接近样本或工件。
XY位移平台由PI控制器或基于EtherCAT的ACS控制模块控制，该模块还提供基于事件的触发，以控制与运动模式相关的激光或测量工具。
选择适应不同要求的电机
线性电机直接驱动（V-731、V-738和V-741）或步进和直流电机（L-731、L-738和L-741）是XY位移平台的原动力。三相磁性线性电机省去了动力传动系统中的机械组件，并将驱动力直接传输到运动平台且不会产生任何摩擦。这意味着可以实现高达500毫米/秒的速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这么一来，即使在最低的速度下也能保持平稳的运行，且在高速状态下也不会产生振动。
L-731、L-738和L-741 XY位移平台的工作速度可达90毫米/秒。可以使用步进电机或直流电机驱动精密滚珠丝杠。两相步进电机在较低的速度下也会产生高扭矩；对于要求高运行平稳性和较高速度的应用，建议使用直流电机变型。
有关XY位移平台规格的更多信息，请参见产品页面：
PI简介
PI总部位于德国卡尔斯鲁厄，专注于工业自动化、光子学、半导体、显微镜和生命科学等细分市场，致力于高精度定位技术和压电陶瓷应用的市场与技术发展。五十多年来，PI与全球客户密切合作，不断地在技术上寻求可行的突破。 各种驱动技术、内部开发的传感器技术、电子和控制技术为此提供了基础。 PI产品组合范围广泛，从组件到子系统，再到定制的完整解决方案。 PI在全球范围内运营，在欧洲、北美和亚洲拥有9个生产基地以及16个销售与服务子公司。