高精度XY位移平台;无铁芯三相直线电机;行程305mm×305mm(X×Y);有效载荷50N;最大速度200mm/s×200mm/s;增量直线光栅尺,传感器信号周期20µm,正弦/余弦,1Vpp
V-741 高精度XY位移平台
高运动精度与稳定性,行程305mm×305mm,直线电机
- 行程305mm×305mm(12")
- 单向重复精度达0.1µm
- 无铁芯三相直线电机
- 速度达200mm/s
- 增量线性编码器分辨率为1nm
- 交叉滚柱导轨
V-741 高精度XY位移平台
产品描述
规格
下载
报价/订购
直线电机
直线电机为电磁直接驱动器。 其无需动力传动系统中的机械部件,可将驱动力直接、无摩擦地传递到运动平台。 驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。 这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。 避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。 驱动力可任意设定。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨,滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。 因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。 交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高有效载荷的特征。 力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
增量直线光栅尺用于高精度位置测量
非接触式光学直线光栅尺以高精度直接在平台上测量位置。 非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
可按需提供其他行程。
应用领域
医疗行业。 激光切割。 扫描。 生物技术。 测量技术。 AOI(自动光学检测)。 激光刻写。
规格
规格
| 运动 | V-741.136111 | 公差 |
|---|---|---|
| 主动轴 | X ǀ Y | |
| X向的行程 | 305 mm | |
| Y向的行程 | 305 mm | |
| X向的加速度,空载 | 3 m/s² | max. |
| Y向的加速度,空载 | 9 m/s² | max. |
| X向的最大速度,空载 | 200 mm/s | |
| Y向的最大速度,空载 | 200 mm/s | |
| 正交性 | ± 96.96 µrad | typ. |
| 直线度误差E_XY(直线度) | ± 3 µm | typ. |
| 直线度误差E_YX(直线度) | ± 3 µm | typ. |
| 直线度误差E_ZX(平面度) | ± 3 µm | typ. |
| 直线度误差E_ZY(平面度) | ± 3 µm | typ. |
| 角度误差E_AY(俯仰角) | ± 75 µrad | typ. |
| 角度误差E_BX(俯仰角) | ± 75 µrad | typ. |
| 角度误差E_CX(偏转角) | ± 50 µrad | typ. |
| 角度误差E_CY(偏转角) | ± 50 µrad | typ. |
| 定位 | V-741.136111 | 公差 |
| X向的最小位移 | 0.02 µm | typ. |
| Y向的最小位移 | 0.02 µm | typ. |
| X向的单向重复精度 | ± 0.05 µm | typ. |
| Y向的单向重复精度 | ± 0.05 µm | typ. |
| X向的双向重复精度 | 0.5 µm | typ. |
| Y向的双向重复精度 | 0.5 µm | typ. |
| 参考点开关 | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | |
| 限位开关 | 叉式光电传感器,常闭触点,5V,NPN | |
| 集成传感器 | 增量式直线光栅尺 | |
| 传感器信号 | 正弦/余弦,1Vpp | |
| 传感器信号周期 | 20 µm | |
| X向的系统分辨率 | 1 nm | |
| Y向的系统分辨率 | 1 nm | |
| 驱动性能 | V-741.136111 | 公差 |
| 驱动类型 | 无铁芯三相直线电机 | |
| 工作电压 | 48 V | |
| 标称电压 | — | |
| 峰值电压 | — | |
| 标称电流,均方根 | 1.5 A | typ. |
| 峰值电流,均方根 | 5 A | typ. |
| X向的驱动力 | 29 N | typ. |
| Y向的驱动力 | 29 N | typ. |
| X向的峰值力 | 80 N | |
| Y向的峰值力 | 80 N | |
| 力常数 | 19.9 N/A | |
| 电机常数 | 4.89 N/√W | typ. |
| 时间常数 | 0.4 ms | |
| 相间电阻 | 11 Ω | typ. |
| 相间电感 | 3.6 mH | |
| 相间反电动势 | 16 V·s/m | max. |
| N-N极距 | 30 mm | |
| 机械性能 | V-741.136111 | 公差 |
| Z向的允许推力 | 50 N | max. |
| θX向的允许力矩 | 125 N·m | max. |
| θY向的允许力矩 | 125 N·m | max. |
| θZ向的允许力矩 | 125 N·m | max. |
| X向的移动质量,空载 | 25500 g | |
| Y向的移动质量,空载 | 9200 g | |
| 导轨 | 交叉滚柱导轨 | |
| 总质量 | 33000 g | |
| 材料 | 铝,阳极氧化致黑 | |
| 其他 | V-741.136111 | 公差 |
| 工作温度范围 | 5至40 °C | |
| 真空等级 | — | |
| 接头 | 2 × HD D-sub 26(公头) | |
| 传感器连接器 | 2 × D-sub 15(母头) | |
| 电缆长度 | — | |
| 推荐控制器/驱动器 | G-901.R319 C-891.130300 C-885与C-891.11C885 ACS模块化控制器 |
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。




















