L-738 精密XY位移平台

通光孔径，高运动精度和稳定性

L-738, 尺寸单位为毫米

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

光学参考点和限位开关。

再循环滚珠轴承经过认真组装后，具有高负载能力、长使用寿命、使用免保养和高导向精度等多种特点。平台的移动部件由在两个导轨上移动的四个预加载线性球形轴承支持。每个轴承单元由两个独立的循环滚珠轴承组成。

医药行业, 激光切割, 生物技术, 计量, 显微镜

数据表

版本/日期

2024-02-13

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版本/日期

2024-02-13

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版本/日期

2018-10-23

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版本/日期

2019-01-08

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带直流电机的平台

运动	L-738.053111 / L-738.053112 / L-738.053132	单位	公差
主动轴	X, Y
行程	102 × 102	毫米
角度误差xry（螺距）	±40	微弧度	典型值
角度误差xrz（偏转角）	±20	微弧度	典型值
角度误差yrx（螺距）	±40	微弧度	典型值
角度误差yrz（偏转角）	±20	微弧度	典型值
直线度/平面度	±2	微米	典型值
正交性	±96.963	微弧度	典型值
速度	L-738.053111 / L-738.053112：50 L-738.053132：90	毫米/秒	最大

定位	L-738.053111	L-738.053112	L-738.053132	单位	公差
集成传感器	增量线性编码器	增量线性编码器	增量旋转编码器
传感器信号	正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期	A/B正交，TTL	A/B正交，TTL
设计分辨率	0.001	0.01	0.1	微米
传感器分辨率旋转编码器	–	–	20000	步/圈
最小位移	0.1	0.1	0.4	微米	典型值
单向重复精度	0.1	0.1	0.4	微米	典型值
双向重复性	±0.5	±0.5	±2	微米	典型值
参考点开关重复性	<1	<1	<1	微米	典型值
参考和限位开关	光学	光学	光学

机械特性	L-738.053xxx	单位	公差
传动螺杆类型	滚珠丝杠
丝杠螺距	2	毫米
导向类型	循环滚珠轴承导轨
保持力，断电	20	牛	典型值
推/拉力F_x、F_y，通电	100	牛	最大
负载容量	200	牛	最大
θ_X向上的允许力矩Mx	130	牛米	最大
θ_Y向上的允许力矩My	130	牛米	最大
θ_Z向上的允许力矩Mz	90	牛米	最大

驱动特性	L-738.053xxx	单位	公差
电机类型	直流电机
工作电压，标称值	24	伏	标称
工作电压，最大值	48	伏	最大

其他	L-738.053111	L-738.053112	L-738.053132	单位	公差
工作温度范围	5 到 40	5 到 40	5 到 40	°C
材料	铝，阳极氧化致黑	铝，阳极氧化致黑	铝，阳极氧化致黑
质量	24	24	24	千克	±5 %
X向上的移动质量，无负载	14.6	14.6	14.6	千克	±5 %
Y向上的移动质量，无负载	5.8	5.8	5.8	千克	±5 %
连接器	2个HD Sub-D 26针（公头）（电机） 2个Sub-D 15针（母头）（传感器）	2个HD Sub-D 26针（公头）（电机/传感器）	2个HD Sub-D 26针（公头）（电机/传感器）
推荐控制器/驱动器	SMC Hydra（双轴） C-891单轴带C-891.10C885的C-885（多达20轴） ACS模块化控制器	C-863单轴 C-884（多达6轴）带C-863.20C885的C-885（多达40轴） ACS模块化控制器	C-863单轴 C-884（多达6轴）带C-863.20C885的C-885（多达40轴） ACS模块化控制器

带步进电机的平台

运动	L-738.051100 / L-738.051111 / L-738.051112	单位	公差
主动轴	X, Y
行程	102 × 102	毫米
角度误差xry（螺距）	±40	微弧度	典型值
角度误差xrz（偏转角）	±20	微弧度	典型值
角度误差yrx（螺距）	±40	微弧度	典型值
角度误差yrz（偏转角）	±20	微弧度	典型值
直线度/平面度	±2	微米	典型值
正交性	±96.963	微弧度	典型值
速度	35	毫米/秒	最大

定位	L-738.051100	L-738.051111	L-738.051112	单位	公差
集成传感器	–	增量线性编码器	增量线性编码器
传感器信号	–	正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期	A/B正交，TTL
设计分辨率	10.0	0.001	0.01	微米
最小位移	0.2	0.05	0.05	微米	典型值
单向重复精度	0.2	0.05	0.05	微米	典型值
双向重复性	±2	±0.5	±0.5	微米	典型值
参考点开关重复性	<1	<1	<1	微米	典型值
参考和限位开关	光学	光学	光学

机械特性	L-738.051xxx	单位	公差
传动螺杆类型	滚珠丝杠
丝杠螺距	2	毫米
导向类型	循环滚珠轴承导轨
保持力，断电	60	牛	典型值
推/拉力F_X、F_Y，通电	100	牛	最大
负载容量	200	牛	最大
θ_X向上的允许力矩Mx	130	牛米	最大
θ_Y向上的允许力矩My	130	牛米	最大
θ_Z向上的允许力矩Mz	90	牛米	最大

驱动特性	L-738.051xxx	单位	公差
电机类型	步进电机，两相
工作电压，标称值	24	伏	标称
工作电压，最大值	48	伏	最大
步进分辨率	200	全步/转

其他	L-738.051100	L-738.051111	L-738.051112	单位	公差
工作温度范围	5 到 40	5 到 40	5 到 40	°C
材料	铝，阳极氧化致黑	铝，阳极氧化致黑	铝，阳极氧化致黑
质量	22	22	22	千克	±5 %
X向上的移动质量，无负载	13.8	13.8	13.8	千克	±5 %
Y向上的移动质量，无负载	5.8	5.8	5.8	千克	±5 %
连接器	2个HD Sub-D 26针（公头）（电机）	2个HD Sub-D 26针（公头）（电机） 2个Sub-D 15针（母头）（传感器）	2个HD Sub-D 26针（公头）（电机/传感器）
推荐控制器/驱动器	C-663.12单轴 SMC Hydra（双轴）带C-663.12C885的C-885（多达20轴） ACS模块化控制器	SMC Hydra（双轴） ACS模块化控制器	C-663.12单轴带C-663.12C885的C-885（多达20轴） ACS模块化控制器