PIglide RLA系列直接驱动式平面转台旨在实现较高的精度。这些转台低外形、大孔径。RLA平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。
绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。
断层扫描、束线系统、晶圆计量、晶圆检验、测量技术、检验系统、校准、扫描。
由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使PIglide平台成为无尘室应用的首选。
运动
A-688
单位
公差
行程
无限，> 360度
运动平台直径
365
毫米
偏心度(1)
300
纳米
最大
平面度(1)
175
摆动(1)
1
微弧度
机械特性
负载能力，轴向(2)
770
牛
负载能力，径向(2)
190
负载力矩，MX、Y(2)
36
牛米
惯性力矩
284710
千克平方毫米
典型值
运动质量
12
千克
总质量
24
导轨类型
空气轴承
驱动器特性
驱动器类型
三相无刷力矩电机
中间电路电压
48，标称值
80，最大值
伏直流
峰值电流
6.9
安
标称电流
3.2
峰值力矩
85
标称力矩
39
力矩常数
12.3
牛米/安
相间电阻
3.6
欧姆
相间电感
1.24
毫亨
相间反电动势
10.1
伏/千转每分钟
定位
A-688.A100
A-688.B100
集成传感器
增量角度测量系统
绝对角度测量系统
传感器信号
正弦/余弦，1伏峰峰值
BiSS-C
线/转
55040
–
速度(3)
最大值为500转/分钟
传感器分辨率
0.03微弧度(4)
0.0015微弧度
双向重复精度
±4微弧度
精度，带误差补偿(5)
±8微弧度
参考点开关
1 / 转，一个传感器信号周期内差示脉冲，1伏峰峰值
其他
工作压力(6)
75至85磅 /平方英寸（515至585千帕）
耗气量
< 2 SCFM (56 SLPM)
空气质量
清洁（过滤达1.0微米或更佳）ISO 8573‑1 级别1
无油 - ISO 8573‑1 级别1
干燥（-15°C露点） - ISO 8573‑1 级别3
材料
硬膜铝，不锈钢固定硬件
A-688 Series Large Clear Aperture Rotary Air Bearing Stage
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具有纳米级精度且无摩擦的多轴运动
