A-68x PIglide RLA Rotation Stage with Air Bearings, Large Aperture

无摩擦,电动

A-68x PIglide RLA Rotation Stage with Air Bearings, Large Aperture
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  • 运动平台直径为365毫米,开孔直径为260毫米
  • 低外形
  • 偏心度和平面度< 300纳米

产品概述

PIglide RLA系列直接驱动式平面转台旨在实现较高的精度。这些转台低外形、大孔径。RLA平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。

三相力矩电机

  • 无刷
  • 低齿槽转矩

绝对编码器(可选配)

绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。

附件和可选配件

  • 增量或绝对编码器
  • PIglide过滤器和空气预处理器
  • 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
  • 多轴/定制化搭建
  • 花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

断层扫描、束线系统、晶圆计量、晶圆检验、测量技术、检验系统、校准、扫描。

由于无摩擦运动,因此不会形成颗粒,从而使PIglide平台成为无尘室应用的首选。

规格

该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。

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文件

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User Manual A688D0001

A-688 Series Large Clear Aperture Rotary Air Bearing Stage
版本/日期
1.0 / 2020-04-01
文件语言 English
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3D模型

3D模型

3-D模型A-68x

版本/日期
2020-04-01
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A-688.A100
PIglide RLA 转台,空气轴承,365毫米运动平台直径,260毫米直径孔径,低外形,带有正弦/余弦信号传输的角度测量系统,无刷三相力矩电机
A-688.B100
PIglide RLA 转台,空气轴承,365毫米运动平台直径,260毫米直径孔径,低外形,带BiSS-C信号传输的绝对角度测量系统,无刷三相力矩电机