数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。
非接触式光学线性编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
N-381.30
N-381.3A
主动轴
X
运动和定位
行程
30毫米
集成传感器
-
增量线性编码器
传感器分辨率
20纳米*
模拟模式下的行程，开环
±5微米（最大值）
分辨率，开环
0.03纳米**
分辨率，闭环
最大速度
10 毫米/秒*
机械特性
最大推/拉力（主动）
10牛
最大保持力（被动）
15牛
可允许的侧向力
10牛（最大值）
驱动特性
驱动类型
NEXACT线性驱动器
工作电压
-10伏至+45伏
其他
工作温度范围
0至50摄氏度
材料
铬钢/碳纤维复合材料
质量
250克
255克
电缆长度
1.5米
电机连接器
HD Sub-D（公头）15针
HD Sub-D 15针（公头）
传感器连接
HD Sub-D 15针（母头）
推荐电控
E-712、E-861、E-861.11C885、E-862
N-381.30 NEXACT®线性促动器
N-381.3A NEXACT®线性促动器
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PiezoWalk®驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言，半导体产业是一个非常严苛的行业。
PI将增量测量系统用于超过1毫米的较长行程范围。这些传感器，大多数情况下都是光学传感器，可实现低至皮米的位置分辨率。
