N-381 NEXACT线性促动器,机械手,压电步进

高分辨率,可选配位置传感器

N-381 NEXACT线性促动器,机械手,压电步进
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  • 行程30毫米
  • 力量生成达10牛
  • 带NEXACT压电陶瓷步进驱动
  • 可选配:集成线性编码器,分辨率为20纳米

应用领域

  • 工业级精度定位
  • 半导体技术
  • 半导体测试
  • 晶圆检测
  • 平版印刷术
  • 纳米压印
  • 纳米测量
  • 强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学线性编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

规格

数据表

数据表N-381

版本/日期
2019-01-21
版本/日期
2019-01-21
版本/日期
2019-01-22
文件语言
pdf - 332 KB
pdf - 345 KB
pdf - 654 KB

下载

数据表

数据表

数据表N-381

版本/日期
2019-01-21
版本/日期
2019-01-21
版本/日期
2019-01-22
文件语言
pdf - 332 KB
pdf - 345 KB
pdf - 654 KB

文件

文件

用户使用手册MP108

N-381.30 NEXACT®线性促动器
版本/日期
2018-11-21
版本/日期
2018-11-21
文件语言
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB
文件

用户使用手册MP177

N-381.3A NEXACT®线性促动器
版本/日期
2018-11-21
版本/日期
2018-11-21
文件语言
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB

3D模型

3D模型

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