P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

主动轴

X、Y、Z

X、Y、Z

运动和定位

集成传感器

应变片传感器

-20至120 伏时的开环行程

120/轴

120/轴

微米

+20 % / -0 %

行程，闭环

100/轴

–

微米

分辨率，开环

0.2

0.2

纳米

典型值

分辨率，闭环

1

–

纳米

典型值

线性误差

0.1

–

%

典型值

重复精度

<10

–

纳米

典型值

X、Y向上的螺距

±5

±5

微弧度

典型值

θ_X向上的倾斜（Z向运动）

±10

±10

微弧度

典型值

X向上的偏转角

±20

±20

微弧度

典型值

Y向上的偏转角

±10

±10

微弧度

典型值

θ_Y向上的倾斜（Z向运动）

±10

±10

微弧度

典型值

机械特性

刚度

0.3

0.3

牛/微米

±20 %

X / Y / Z向上的空载谐振频率

350 / 220 / 250

350 / 220 / 250

赫兹

±20 %

带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率

270 / 185 / 230

270 / 185 / 230

赫兹

±20 %

带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率

180 / 135 / 200

180 / 135 / 200

赫兹

±20 %

运动方向上的推/拉力

15 / 10

15 / 10

牛

最大

负载容量

15

15

牛

最大

驱动特性

陶瓷类型

PICMAP-885

PICMAP-885

电容

1.5

1.5

微法

±20 %

其他

工作温度范围

-20 到 80

-20 到 80

°C

材料

铝、钢

铝、钢

尺寸

S版本：

48 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米

SF版本：

44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米

O版本：

44 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米

OF版本：

44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米

质量

0.32

0.32

千克

±5 %

电缆长度

1.5

1.5

米

±10 毫米

电压连接

Sub-D25针（公头）

Sub-D25针（公头）

传感器连接

Sub-D25针（公头）

–

推荐电控

E-503、E-505、E-663、E-664、E-727

E-503、E-505、E-663、E-664、E-727