S-325 压电陶瓷Z向/偏摆平台
用于反射镜和光学元件的高动态三脚系统
- 光束偏转达10毫弧度
- 分辨率达50纳弧度
- 线性行程达30微米(用于运行时调整)
- 紧凑型三脚设计
- 亚微秒级响应时间
- 闭环版本可实现更高精度
- 用于直径长达25 毫米(1英寸)的反射镜
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
- 并联运动实现更高精度和动态
应用领域
- 图像处理/稳定
- 光学捕获
- 激光扫描/光束偏转
- 激光调谐
- 光学过滤器/开关
- 光学
- 激光束稳定
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
规格
该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。规格
S-325.30L | S-325.3SL | S-325.3SD | 单位 | 公差 | |
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主动轴 | Z, θX, θY | Z, θX, θY | Z, θX, θY | ||
运动和定位 | |||||
集成传感器 | – | 应变片传感器 | 应变片传感器 | ||
0至100 伏时Z向上的开环行程 | 30 | 30 | 30 | 微米 | +20 % / -0 % |
0至100 伏时的偏摆角,开环 | 5 | 5 | 5 | 毫弧度 | +20 % / -0 % |
Z向上的闭环行程 | – | 30 | 30 | 微米 | |
θX、θY向上的闭环偏摆角 | – | 4 | 4 | 毫弧度 | |
Z向上的开环分辨率 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的开环分辨率 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 微弧度 | 典型值 |
Z向上的闭环分辨率 | – | 0.6 | 0.6 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的闭环分辨率 | – | 0.1 | 0.1 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | |||||
Z向上的空载谐振频率 | 2 | 2 | 2 | 千赫兹 | ±20 % |
带负载时的谐振频率(带25 毫秒 × 8 毫米的玻璃反射镜) | 1 | 1 | 1 | 千赫兹 | ±20 % |
枢轴点至平台表面的距离 | 6 | 6 | 6 | 毫米 | ±0.5 毫米 |
平台 惯性力矩 | 515 | 515 | 515 | 克 × 平方毫米 | ±20 % |
驱动特性 | |||||
陶瓷类型 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
电容 | 9.3 | 9.3 | 9.3 | 微法 | ±20 % |
其他 | |||||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
外壳材料 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 0.065 | 0.065 | 0.065 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 2 | 2 | 1.5 | 米 | +100毫米/-0毫米 |
传感器/电压连接 | LEMO | LEMO | Sub-D 25针(公头) | ||
推荐电控 | E-610、E-616、E-663、E-727 | E-610、E-616、E-663、E-727 | E-610、E-616、E-663、E-727 |