P-726 PIFOC高负载物镜扫描器

应用领域

• 超分辨率显微镜
• 光学圆盘显微镜
• 共聚焦显微镜
• 3D成像
• 筛选
• 干涉测量
• 测量技术
• 自动聚焦系统
• 生物技术
• 半导体测试

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容传感器，实现亚纳米级分辨率

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。 它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度

柔性铰链导向机构无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。 其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。 所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。 每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。 这样可以实现良好的重复精度、稳定性和刚性、快速响应控制。