P-726 PIFOC高负载物镜扫描器
用于较重物镜的长行程、高动态扫描系统
- 较大物镜的高动态定位和扫描
- 谐振频率1120赫兹;560赫兹,物镜质量210克
- 典型步进和稳定约为6毫秒
- 行程100微米
- 直接测量型电容式传感器带来最高线性度、稳定性和控制动态
- 分辨率0.3纳米
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性
应用领域
- 超分辨率显微镜
- 光学圆盘显微镜
- 共聚焦显微镜
- 3D成像
- 筛选
- 干涉测量
- 测量技术
- 自动聚焦系统
- 生物技术
- 半导体测试
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
规格
规格
P-726.1CD | 单位 | 公差 | |
---|---|---|---|
主动轴 | Z | ||
运动和定位 | |||
集成传感器 | 电容式/直接测量 | ||
行程,闭环 | 100 | 微米 | |
分辨率,闭环 | 0.4 | 纳米 | 典型值 |
分辨率,开环 | 0.3 | 纳米 | 典型值 |
线性误差,闭环 | 0.02 | % | 典型值 |
重复精度 | ±3 | 纳米 | 典型值 |
倾斜θX、θY | ±5 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的串扰 | 50 | 纳米 | 典型值 |
机械特性 | |||
运动方向上的刚性 | 3.4 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率,空载 | 1120 | 赫兹 | ±20 % |
带210克负载时的谐振频率 | 560 | 赫兹 | ±20 % |
带310克负载时的谐振频率 | 480 | 赫兹 | ±20 % |
运动方向上的推/拉力 | 100 / 50 | 牛 | 最大 |
负载容量 | 20 | 牛 | 最大 |
驱动特性 | |||
压电陶瓷类型 | PICMAP-885 | ||
电容 | 6 | 微法 | ±20 % |
其他 | |||
工作温度范围 | -20 到 80 | °C | |
材料 | 铝、钢 | ||
物镜螺纹 | M32 | 最大 | |
质量 | 575 | 克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器/电压连接 | Sub-D 7W2(公头) | ||
推荐电控 | E-505、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
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产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
数据表
文件
用户使用手册P726T0002
P-726.1CD PIFOC®高负载物镜扫描仪
Installation Instructions P726T0001
P-726.xx QuickLock Thread Adapters for P-726 PIFOC