P-726 PIFOC高负载物镜扫描器

用于较重物镜的长行程、高动态扫描系统

  • 较大物镜的高动态定位和扫描
  • 谐振频率1120赫兹;560赫兹,物镜质量210克
  • 典型步进和稳定约为6毫秒
  • 行程100微米
  • 直接测量型电容式传感器带来最高线性度、稳定性和控制动态
  • 分辨率0.3纳米
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性
P-726 PIFOC高负载物镜扫描器
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应用领域

  • 超分辨率显微镜
  • 光学圆盘显微镜
  • 共聚焦显微镜
  • 3D成像
  • 筛选
  • 干涉测量
  • 测量技术
  • 自动聚焦系统
  • 生物技术
  • 半导体测试

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

规格

数据表

数据表P-726

版本/日期
2023-12-12
pdf - 725 KB
版本/日期
2023-12-12
pdf - 728 KB
版本/日期
2018-10-24
pdf - 858 KB
版本/日期
2018-06-14
pdf - 780 KB

下载

产品注解

产品注解

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

版本/日期
2021-04-19
pdf - 377 KB
English

数据表

数据表

数据表P-726

版本/日期
2023-12-12
pdf - 725 KB
版本/日期
2023-12-12
pdf - 728 KB
版本/日期
2018-10-24
pdf - 858 KB
版本/日期
2018-06-14
pdf - 780 KB

文件

文件

用户使用手册P726T0002

P-726.1CD PIFOC®高负载物镜扫描仪

版本/日期
2020-06-10
pdf - 1 MB
English
文件

Installation Instructions P726T0001

P-726.xx QuickLock Thread Adapters for P-726 PIFOC

版本/日期
2020-02-20
pdf - 736 KB
English
文件

简短说明PZ240

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统

版本/日期
6.2.0 03/2024
pdf - 561 KB
版本/日期
6.2.0 03/2024
pdf - 595 KB

3D模型

3D模型

3-D模型P-726.1CD

zip - 394 KB

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