P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

行程可变的高精度XY向纳米定位器

行程范围50至1800µm
分辨率达0.1nm
定位精度0.02%
利用电容传感器进行直接测量
X、XY、Z和XYZ型

报价/订购

P-62x.2CD/.2CL/.20L，尺寸单位为mm。

应用领域

干涉测量
显微镜
纳米定位
生物技术
测试流程和质量保证
光子
光纤定位
半导体技术

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容传感器以亚纳米级分辨率进行测量，且无接触。它们可带来良好的运动线性度、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零游隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。其可在较宽的温度范围内工作。

直接位置测量带来高精度

运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现高重复精度、高稳定性、高刚性，以及快速响应控制。

下载数据表转到规格报价/订购

数据表

版本/日期

2026-07-06

pdf - 548 KB

版本/日期

2026-07-06

pdf - 571 KB

版本/日期

2026-07-06

pdf - 773 KB

版本/日期

2018-07-03

pdf - 859 KB

下载

选择行程范围：

运动	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	公差
主动轴	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y	X ǀ Y
X向的行程	—	50 µm	50 µm	—	100 µm	100 µm	—	250 µm	250 µm	—	500 µm	500 µm	—	800 µm	800 µm	1500 µm	1500 µm
Y向的行程	—	50 µm	50 µm	—	100 µm	100 µm	—	250 µm	250 µm	—	500 µm	500 µm	—	800 µm	800 µm	1500 µm	1500 µm
X向的开环行程	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	1000 µm	1000 µm	1000 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
Y向的开环行程	60 µm	60 µm	60 µm	120 µm	120 µm	120 µm	300 µm	300 µm	300 µm	600 µm	600 µm	600 µm	1000 µm	1000 µm	1000 µm	1800 µm	1800 µm	±20 %
角度误差E_AY（俯仰角）	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
角度误差E_BX（俯仰角）	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 30 µrad	± 30 µrad	typ.
角度误差E_CX（偏转角）	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
角度误差E_CY（偏转角）	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 3 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	typ.
X向的线性误差	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.03 %	0.03 %	—	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
Y向的线性误差	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.02 %	0.02 %	—	0.03 %	0.03 %	—	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	typ.
定位	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	公差
X向的开环分辨率	0.1 nm	0.1 nm	0.1 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	2 nm	2 nm	typ.
Y向的开环分辨率	0.1 nm	0.1 nm	0.1 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.2 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.4 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	0.5 nm	2 nm	2 nm	typ.
集成传感器	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	—	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量	电容式，直接位置测量
X向的系统分辨率	—	0.2 nm	0.2 nm	—	0.4 nm	0.4 nm	—	0.7 nm	0.7 nm	—	1.4 nm	1.4 nm	—	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm
Y向的系统分辨率	—	0.2 nm	0.2 nm	—	0.4 nm	0.4 nm	—	0.7 nm	0.7 nm	—	1.4 nm	1.4 nm	—	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm	3.5 nm
X向的双向重复精度	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	5 nm	5 nm	—	10 nm	10 nm	14 nm	14 nm	typ.
Y向的双向重复精度	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	2 nm	2 nm	—	5 nm	5 nm	—	10 nm	10 nm	14 nm	14 nm	typ.
驱动性能	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	公差
驱动类型	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA	PICMA
最大功耗	2 W	2 W	2 W	6 W	6 W	6 W	7 W	7 W	7 W	9 W	9 W	9 W	15 W	15 W	15 W	38 W	38 W
X向的电容	0.35 µF	0.35 µF	0.35 µF	1.5 µF	1.5 µF	1.5 µF	3.1 µF	3.1 µF	3.1 µF	6.2 µF	6.2 µF	6.2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	±20 %
Y向的电容	0.35 µF	0.35 µF	0.35 µF	1.5 µF	1.5 µF	1.5 µF	3.1 µF	3.1 µF	3.1 µF	6.2 µF	6.2 µF	6.2 µF	19 µF	19 µF	19 µF	52 µF	52 µF	±20 %
短期最大工作频率	267 Hz	267 Hz	267 Hz	178 Hz	178 Hz	178 Hz	100 Hz	100 Hz	100 Hz	65 Hz	65 Hz	65 Hz	35 Hz	35 Hz	35 Hz	33 Hz	33 Hz
机械性能	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	公差
X向的刚性	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	±20 %
Y向的刚性	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.22 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.25 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.2 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.05 N/µm	0.1 N/µm	0.1 N/µm	±20 %
X向的谐振频率，空载	575 Hz	575 Hz	575 Hz	420 Hz	420 Hz	420 Hz	225 Hz	225 Hz	225 Hz	135 Hz	135 Hz	135 Hz	75 Hz	75 Hz	75 Hz	60 Hz	60 Hz	±20 %
在50g负载下X向的谐振频率	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	180 Hz	180 Hz	180 Hz	120 Hz	120 Hz	120 Hz	60 Hz	60 Hz	60 Hz	55 Hz	55 Hz	±20 %
在100g负载下X向的谐振频率	270 Hz	270 Hz	270 Hz	220 Hz	220 Hz	220 Hz	160 Hz	160 Hz	160 Hz	105 Hz	105 Hz	105 Hz	55 Hz	55 Hz	55 Hz	50 Hz	50 Hz	±20 %
Y向的谐振频率，空载	800 Hz	800 Hz	800 Hz	535 Hz	535 Hz	535 Hz	300 Hz	300 Hz	300 Hz	195 Hz	195 Hz	195 Hz	105 Hz	105 Hz	105 Hz	100 Hz	100 Hz	±20 %
在50g负载下Y向的谐振频率	395 Hz	395 Hz	395 Hz	365 Hz	365 Hz	365 Hz	215 Hz	215 Hz	215 Hz	150 Hz	150 Hz	150 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	85 Hz	±20 %
在100g负载下Y向的谐振频率	300 Hz	300 Hz	300 Hz	285 Hz	285 Hz	285 Hz	175 Hz	175 Hz	175 Hz	125 Hz	125 Hz	125 Hz	75 Hz	75 Hz	75 Hz	80 Hz	80 Hz	±20 %
X向的允许推力	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Y向的允许推力	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
Z向的允许推力	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
X向的允许拉力	5 N	5 N	5 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	max.
Y向的允许拉力	5 N	5 N	5 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	8 N	max.
Z向的允许拉力	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	10 N	max.
导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨	带杠杆放大的柔性铰链导轨
总质量	195 g	195 g	195 g	295 g	295 g	295 g	348 g	348 g	348 g	430 g	430 g	430 g	700 g	700 g	700 g	1370 g	1370 g
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝	铝
其他	P-620.20L	P-620.2CD	P-620.2CL	P-621.20L	P-621.2CD	P-621.2CL	P-622.20L	P-622.2CD	P-622.2CL	P-625.20L	P-625.2CD	P-625.2CL	P-628.20L	P-628.2CD	P-628.2CL	P-629.2CD	P-629.2CL	公差
工作温度范围	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至150 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C	-20至80 °C
接头	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT	2 × D-sub 7W2（公头）	LEMO LVPZT
电缆长度	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m
推荐控制器/驱动器	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-663	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727	E-503、E-505、E-621、E-713、E-727
传感器连接器	—	—	电容传感器的LEMO	—	—	电容传感器的LEMO	—	—	电容传感器的LEMO	—	—	电容传感器的LEMO	—	—	电容传感器的LEMO	—	电容传感器的LEMO

P-628.2CD / P-628.2CL：带数字控制器，X、Y轴线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.05%。

P-629.2CD / P-629.2CL：带数字控制器，X、Y轴线性误差（典型值）为0.03%。带模拟量控制器0.08%。

X：下轴；Y：上轴。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。

所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。

PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。

下载数据表转到下载报价/订购

产品注解

版本/日期

2021-04-19

pdf - 377 KB

English

下载

数据表

版本/日期

2026-07-06

pdf - 548 KB

版本/日期

2026-07-06

pdf - 571 KB

版本/日期

2026-07-06

pdf - 773 KB

版本/日期

2018-07-03

pdf - 859 KB

下载

文件

压电陶瓷定位器： P-5xx / P-6xx / P-7xx

版本/日期

6.4.0 08/2025

pdf - 285 KB

版本/日期

6.4.0 08/2025

pdf - 289 KB

下载

文件

P-620，P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电平台（带电容传感器）

版本/日期

1.3.0 2021-11-03

pdf - 3 MB

版本/日期

1.3.0 2021-11-03

pdf - 3 MB

3D模型

zip - 1,011 KB

报价/订购

就所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。

P-620.20L

PIHera精密XY纳米定位器，60µm×60µm，无传感器，LEMO连接器

规格

数据表P-620.2 – P-629.2

规格

下载

产品注解

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

数据表

数据表P-620.2 – P-629.2

文件

简短说明PZ240EK

用户手册PZ234

3D模型

P-62x.2 3D模型

报价/订购

如何获取报价

询问工程师

技术

PICMA技术

真空

柔性铰链导向系统

电容传感器