N-310.10
NEXACT OEM线性驱动器，10毫米，10牛
N-310 NEXACTOEM小型线性电机/促动器
紧凑，快速，具有长行程，PiezoWalk原理
- 行程为10至125毫米，动轮长度可变
- 紧凑型设计，经济划算的设计
- 分辨率达0.03纳米
- 力量生成达10牛
N-310，尺寸单位为毫米；动轮长度L=行程40毫米。
N-310 NEXACTOEM小型线性电机/促动器
产品描述
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应用领域
- 工业级精度定位
- 半导体技术
- 半导体测试
- 晶圆检测
- 平版印刷术
- 纳米压印
- 纳米测量
- 强磁场和真空中运动
采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力
数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。
增量编码器用于高精度位置测量
非接触式光学线性编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
适用于复杂真空应用
PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。
规格
规格
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N-310 | 公差 | |
|---|---|---|
主动轴 | X | |
运动和定位 | ||
行程 | N-310.10: 10毫米 N-310.11: 20毫米 N-310.12: 30毫米 N-310.13: 50毫米 N-310.14: 75毫米 N-310.15: 100毫米 N-310.16: 125毫米 | |
步长（步进模式下） | 5纳米至5微米 | |
模拟模式下的行程 | ±5微米 | 最大 |
分辨率，开环* | 0.03纳米 | 典型值 |
最大速度* | 10 毫米/秒 | 最大 |
机械特性 | ||
最大推/拉力（主动） | 10牛 | 最大 |
驱动特性 | ||
驱动类型 | NEXACT线性驱动器 | |
工作电压 | -10伏至+45伏 | |
其他 | ||
工作温度范围 | 0到50摄氏度 | |
外壳材料 | 不锈钢 | |
质量 | 50克（20毫米行程） | ±5 % |
电缆长度 | 1.5米 | ±10 毫米 |
连接器 | HD Sub-D 15针（公头） | |
推荐电控 | E-712、E-861、E-861.11C885、E-862 |
* 取决于驱动电控。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
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N-310.101
NEXACT OEM线性驱动器，10毫米，10牛，偏移电缆出口
N-310.11
NEXACT OEM线性驱动器，20毫米，10牛
N-310.111
NEXACT OEM线性驱动器，20毫米，10牛，偏移电缆出口
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N-310.121
NEXACT OEM线性驱动器，30毫米，10牛，偏移电缆出口
N-310.13
NEXACT OEM线性驱动器，50毫米，10牛
N-310.131
NEXACT OEM线性驱动器，50毫米，10牛，偏移电缆出口
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NEXACT OEM线性驱动器，75毫米，10牛
N-310.141
NEXACT OEM线性驱动器，75毫米，10牛，偏移电缆出口
N-310.15
NEXACT OEM线性驱动器，100毫米，10牛
N-310.151
NEXACT OEM线性驱动器，100毫米，10牛，偏移电缆出口
N-310.16
NEXACT OEM线性驱动器，125毫米，10牛
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NEXACT OEM线性驱动器，125毫米，10牛，偏移电缆出口
