A-141 带空气轴承的PIglideMB小型线性平台

主动轴

X

行程

35

毫米

俯仰角/偏转角/旋转角 ⁽¹⁾

全行程范围内

10

微弧度

最大

直线度/平面度⁽¹⁾

全行程范围内

0.2

微米

最大

速度⁽²⁾，空载

0.25

米/秒

最大

加速度⁽²⁾，空载

3.5

米/平方秒

最大

Z向负载能力⁽³⁾

30

牛

最大

θx向上的允许力矩⁽³⁾

1.1

牛米

最大

θy向上的允许力矩⁽³⁾

2.8

牛米

最大

移动质量

0.3

千克

总质量

0.6

千克

导向类型

空气轴承

驱动类型

线性电机，无铁芯，三相

中间电路电压，均方根

48，标称值

80，最大值

伏直流

峰值电流，均方根

1.1

安

最大

标称电流，均方根

0.3

安

最大

峰值力

2.3

牛

典型值

标称力

0.58

牛

典型值

力常数，均方根

2.1

牛/安

典型值

相间电阻

22.4

欧姆

典型值

相间电感

1.0

毫亨

典型值

相间反电动势

0.7

伏·秒/米

最大

布线

内部，无移动电缆

集成传感器

带行程限位和原位标记的增量式线性编码器

传感器信号

正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期

传感器分辨率

4.88纳米⁽⁴⁾

双向重复性

±0.1微米

精度，未补偿⁽⁵⁾

±2.0微米

精度，带误差补偿⁽⁵⁾

±0.2微米

工作压力⁽⁶⁾

70±5磅／平方英寸（480±35千帕）

耗气量

< 1.0 标准立方英尺每分（28 标准升每分）

空气质量

清洁（过滤达1.0微米或更佳）ISO 8573‑1 级别1

无油 - ISO 8573‑1 级别1

干燥（-15°C露点） - ISO 8573‑1 级别3

材料

硬膜铝，不锈钢固定硬件