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再循环球轴承带来高运动精度。电感限位开关。带模拟量信号传输的增量编码器带来高定位分辨率(正弦/余弦,1伏峰峰)。
带UPR系列直接驱动转台的多轴组合。
提供带直流伺服电机或步进电机的型号且占地面积相同。
无铁芯磁力直接驱动器实现高速度和高加速度。高位置分辨率。
工业和科研。计量、半导体或电子制造中的精密扫描。
68509111 / 68509121 / 68509131 / 68509141 / 68509151 | 单位 | 公差 | |
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运动和定位 | |||
主动轴 | X | ||
行程 | 155 / 205 / 305 / 408 / 508 | 毫米 | |
集成传感器 | 增量编码器 | ||
传感器分辨率* | 15 | 纳米 | |
最小位移 | 0.04 | 微米 | 典型值 |
单向重复精度 | 0.05 | 微米 | 典型值 |
双向重复性 | ±0.15 | 微米 | 典型值 |
螺距 | ±40 / ±50 / ±60 / ±70 / ±80 | 微弧度 | 典型值 |
偏转角 | ±50 | 微弧度 | 典型值 |
直线度 | ±2 / ±3 / ±4 / ±5 / ±6 | 微米 | 典型值 |
平面度 | ±2 / ±3 / ±4 / ±5 / ±6 | 微米 | 典型值 |
速度 | 500 | 毫米/秒 | 最大 |
机械特性 | |||
Z向负载能力 | 250 | 牛 | 最大 |
Y向负载能力 | 500 | 牛 | 最大 |
移动质量 | 0.9 | 千克 | |
总质量 | 10.2 / 10.4 / 11.5 / 12.8 / 14.2 | 千克 | |
线性导向装置 | 再循环滚珠轴承 | ||
驱动特性 | |||
驱动类型 | 线性电机,无铁芯 | ||
中间电路电压 | 48 | 伏直流电 | 最大 |
峰值力 | 150 | 牛 | 典型值 |
标称力 | 50 | 牛 | 典型值 |
有效峰值电流 | 7.5 | 安 | 典型值 |
有效标称电流 | 3.2 | 安 | 典型值 |
有效力常数 | 19.9 | 牛/安 | 典型值 |
相电阻 | 1.8 | 欧姆 | 典型值 |
相电感 | 0.6 | 毫亨 | 典型值 |
相间反电动势 | 16 | 伏特秒/米 | 最大 |
限位开关 | 电感 | ||
其他 | |||
工作温度范围 | 10 到 50 | °C | |
湿度 | 20–90%相对湿度,无凝结 | ||
材料 | 铝,阳极氧化致黑 | ||
推荐控制器 | SMC Hydra,ACS SPii+EC和其他工业解决方案 |
* 采用SMC Hydra控制器。
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