A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪

分辨率为1纳米的XY定位系统

A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪
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  • 扫描应用的完美选择或精密定位
  • 无尘室兼容
  • 行程达500毫米 × 1000毫米
  • 负载容量达245牛
  • 分辨率达1纳米
  • 速度高达2毫米/秒

PIglide参考级XY定位系统

PIglide HS平面扫描仪带多个磁性线性电机和一个绝对编码器,并采用真空预载:非接触式无摩擦运动可实现较高精度和可靠性。

该定位系统旨在较大程度地提高产出并确保较高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦,不会牺牲系统的刚性。

A-322与业界主导的ACS控制器和驱动模块相结合,可提供优异的伺服性能、先进控制算法,从而提高动态性能和误差补偿,并改善一整套软件开发工具。

A-322系列是实现进一步改型的出发点。我们已经开发并测试了关键的核心组件(例如线性电机、测量系统和空气轴承总成),同时验证了其功能。根据客户的应用和要求,A-322系列的变体为量身定制的超精密解决方案提供了理想的出发点。

3种性能级别和价位

  • 基础:XY龙门设计,带3台标准线性电机。
  • 加强:XY龙门设计,带3台高性能液冷式线性电机。适用于高占空比和高加速度的应用。
  • 超强:XY龙门设计,带4台高性能液冷式线性电机。X轴和Y轴均配有2台线性电机和2个线性编码器。这种设计提高了定位精度、重复精度和误差补偿,对于大尺寸的负载尤其如此。

绝对编码器

绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。

PIMag磁力直接驱动

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

附件和可选配件

  • PIglide过滤器和空气预处理器
  • 额外的轴
  • 机器底座
  • 花岗岩底座板和隔振系统
  • 适合其他定位器的底座,例如偏摆台或带有压电驱动器的6轴定位器。

使用寿命长,与无尘室兼容的牵引链

A-322采用耐用的高质量带状电缆和气动软管。经过大量的研究与开发,我们优化了可实现数百万次免维护周期的电缆管理系统。铁氟龙涂层确保了较低的颗粒形成率。

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。

由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

规格

数据表

数据表A-322

版本/日期
2020-04-07
版本/日期
2020-04-07
版本/日期
2021-01-15
文件语言
pdf - 333 KB
pdf - 341 KB
pdf - 410 KB

下载

数据表

数据表

数据表A-322

版本/日期
2020-04-07
版本/日期
2020-04-07
版本/日期
2021-01-15
文件语言
pdf - 333 KB
pdf - 341 KB
pdf - 410 KB

3D模型

3D模型

A-322 3-D模型

版本/日期
2017-03-03
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订购信息

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A-322基础型
PIglide HS平面扫描仪,空气轴承,三相线性电机,绝对线性编码器,行程达500毫米 × 1000毫米(请在要求中注明)
A-322加强型
PIglide HS平面扫描仪,空气轴承,高性能液冷三相线性电机,绝对线性编码器,行程达500毫米 × 750毫米(请在要求中注明)
A-322超强型
PIglide HS平面扫描仪,XY双龙门设计,空气轴承,高性能液冷式三相线性电机,绝对线性编码器,行程达500毫米 × 1000毫米(请在要求中注明)

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