L-509 V6 • V7 • V9 Vacuum-Compatible Precision Linear Stage
紧凑型设计,可负载达10公斤
- 适用于高达10-9百帕的真空度
- 行程为26至102毫米(1''至4")
- 重复精度达0.1微米
- 直流齿轮电机、步进电机
- 方向感应参考点开关
- 可以进行多轴搭建
产品概述
带防蠕动系统的交叉滚柱导轨带来高运动精度和负载能力。精密滚珠丝杠,螺距为1毫米 紧凑型设计。应力消除铝基座可实现高稳定性。限位开关。位于行程中点带方向感应的非接触式光学参考点开关。
减少除气,特别是在真空环境中使用时
最值得注意的是,对于导轨和传动螺杆的润滑,使用具有特别低除气的材料。因此,可承受温度高达80摄氏度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改,此定位器可以使用高达10-6百帕。
更高质量,适用于高真空应用
在这种情况下,使用适合高真空的特殊组件,如电机、测量系统和限位开关。此外,表面由无涂层铝制成,传动螺杆和导向装置由不锈钢制成。这样,PI V7真空等级就达到了,这意味着高达10-7百帕。
较高质量,可满足超高真空的特殊要求
在此真空等级中,产品在所有细节上都进行了优化,并采用了适用于超高真空的组件,以便达到高达10-9百帕的PI V9真空等级。除其他外,只有选定类型的塑料用于此目的,使用测量系统时耐受温度为120摄氏度,不使用测量系统时耐受温度为150摄氏度。
可用电机类型
- 带减速齿轮的直流电机在电机功率低时可实现高转矩和高分辨率,可达10-6百帕
- 两相步进电机可实现低速度和高分辨率,可达10-9百帕
位置测量的类型
- 不带编码器(开环)
- 电机轴上的集成旋转编码器
应用领域
真空室。研究. 高能束线设备. 显微镜. 电子元件组装和检验.
规格
规格
其他 | L-509.0x1x00Vx | L-509.0x4132V6 | 单位 | 公差 |
---|---|---|---|---|
工作温度范围 | 5到40 | 5到40 | 摄氏度 | |
材料 | 铝、钢 | 铝、钢 | ||
质量 | L-509.021100V6: 1.4 L-509.031100V6: 1.5 L-509.051100V6: 1.7 L-509.021300V7: 1.0 L-509.031300V7: 1.1 L-509.051300V7: 1.6 L-509.021600V9: 1.3 L-509.031600V9: 1.4 L-509.051600V9: 1.6 | L-509.024132V6: 1.1 L-509.034132V6: 1.2 L-509.054132V6: 1.5 | 千克 | ±5 % |
移动质量,无负载 | 0.22 | 0.22 | 千克 | ±5 % |
固定电缆(3),在真空侧:电缆长度 | L-509.0x1100V6: – L-509.0x1300V7: 2 L-509.0x1600V9: 2 | – | 米 | |
连接器 | L-509.0x1100V6: HD D-sub 26针(公头) L-509.0x1300V7: D-sub 15 (母) L-509.0x1600V9: D-sub 15 (母) | HD D-sub 26(公头) | ||
推荐控制器/驱动器 | C-663.12单轴 SMC Hydra(双轴) 带C-663.12C885的C-885(多达20轴) ACS模块化控制器 | C-863单轴 C-884(多达6轴) 带C-863.20C885的C-885(多达40轴) ACS模块化控制器 |
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数据表
文件
用户使用手册MP186
本文档描述了以下精密线性定位器,真空兼容1 E-7百帕:L-509.0x1300V7;L-509.0x1311V7
用户使用手册L509T0018
L-509真空兼容型精密线性定位器(1E-9百帕)
用户使用手册MP174
L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-6 hPa)
3D模型
3DmodelL-509.0x1100V6
3DmodelL-509.0x1300V7
3DmodelL-509.0x1311V7
3DmodelL-509.0x1600V9
3DmodelL-509.0x4132V6
3-D模型L-509.054132V6
3-D模型L-509.051600V9
3-D模型L-509.051100V6
3-D模型L-509.034132V6
3-D模型L-509.031600V9
3-D模型L-509.031300V7
3-D模型L-509.031100V6
3-D模型L-509.024132V6
3-D模型L-509.021600V9
3-D模型L-509.021300V7
3-D模型L-509.0513xxV7
3-D模型L-509.0211xxV6
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