L-509 V6 • V7 • V9 Precision Linear Stage Suitable for Vacuum

紧凑型设计,可负载达10公斤

L-509 V6 • V7 • V9 Precision Linear Stage Suitable for Vacuum
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产品概述

带防蠕动系统的交叉滚柱导轨带来高运动精度和负载能力。精密滚珠丝杠,螺距为1毫米 紧凑型设计。应力消除铝基座可实现高稳定性。限位开关。位于行程中点带方向感应的非接触式光学参考点开关。

减少除气,特别是在真空环境中使用时

最值得注意的是,对于导轨和传动螺杆的润滑,使用具有特别低除气的材料。因此,可承受温度高达80摄氏度。通过对PI V6真空等级的这一和其他修改,此定位器可以使用高达10-6百帕。

更高质量,适用于高真空应用

在这种情况下,使用适合高真空的特殊组件,如电机、测量系统和限位开关。此外,表面由无涂层铝制成,传动螺杆和导向装置由不锈钢制成。这样,PI V7真空等级就达到了,这意味着高达10-7百帕。

较高质量,可满足超高真空的特殊要求

在此真空等级中,产品在所有细节上都进行了优化,并采用了适用于超高真空的组件,以便达到高达10-9百帕的PI V9真空等级。除其他外,只有选定类型的塑料用于此目的,使用测量系统时耐受温度为120摄氏度,不使用测量系统时耐受温度为150摄氏度。

可用电机类型

  • 带减速齿轮的直流电机在电机功率低时可实现高转矩和高分辨率,可达10-6百帕
  • 两相步进电机可实现低速度和高分辨率,可达10-9百帕

位置测量的类型

  • 不带编码器(开环)
  • 电机轴上的集成旋转编码器

应用领域

真空室。研究. 高能束线设备. 显微镜. 电子元件组装和检验.

Separate connection cable required for motor and sensor connection respectively.

规格

数据表

数据表L-509-V

版本/日期
2021-03-24
版本/日期
2021-03-24
版本/日期
2021-01-18
文件语言
pdf - 9 MB
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数据表

数据表

数据表L-509-V

版本/日期
2021-03-24
版本/日期
2021-03-24
版本/日期
2021-01-18
文件语言
pdf - 9 MB
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文件

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简单说明MP146EK

带电动的定位器:DT-xx/HPS-170/L-xxx/LS-xxx/MTS-65/PRS-xxx/RS-40/UPL-120/VT-80/WT-xx/WT-xxx
版本/日期
1.5.0 October 2017
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用户使用手册MP186

本文档描述了以下精密线性定位器,真空兼容1 E-7百帕:L-509.0x1300V7;L-509.0x1311V7
版本/日期
1.2 2020-06-29
文件语言 English
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用户使用手册L509T0018

L-509真空兼容型精密线性定位器(1E-9百帕)
版本/日期
2020-06-29
文件语言 English
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用户使用手册MP174

L-509真空兼容型精密线性平台(1 E-6 hPa)
版本/日期
1.2 2020-06-30
版本/日期
1.2 2020-06-30
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3D模型

3D模型

3-D模型L-509.054132V6

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.051600V9

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.051100V6

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.034132V6

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.031600V9

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.031300V7

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.031100V6

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.024132V6

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.021600V9

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.021300V7

版本/日期
2019-12-06
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3-D模型L-509.0513xxV7

版本/日期
2019-12-09
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3-D模型L-509.0211xxV6

版本/日期
2019-12-09
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报价/订购

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L-509.024132V6
精密线性平台,85毫米宽度,26毫米行程,直流齿轮电机,带A/B正交信号传输的增量旋转编码器,真空兼容至10-6百帕
L-509.034132V6
精密线性平台,85毫米宽度,52毫米行程,直流齿轮电机,带A/B正交信号传输的增量旋转编码器,真空兼容至10-6百帕
L-509.054132V6
精密线性平台,85毫米宽度,102毫米行程,直流齿轮电机,带A/B正交信号传输的增量旋转编码器,真空兼容至10-6百帕

转接支架