A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪

高性能,紧凑型XY纳米定位系统

  • 扫描应用的完美选择或精密定位
  • 无尘室兼容
  • 行程达200 毫米 × 200 毫米
  • 负载容量达147 牛
  • 低外形
  • 分辨率达1纳米
A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪
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产品概述

带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计,可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限,能够节省机械空间。

PIMag磁力直接驱动

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

利用来自领先制造商的数字控制器,操作可提供高级控制算法,以改善动态性和误差补偿。

附件和可选配件

  • 编码器
  • PIglide过滤器和空气预处理器
  • 多轴运动控制器和直接驱动器
  • 机器底座
  • 花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

PIglide 定位系统特别适合高精度应用,例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。

规格

数据表

数据表A-311

版本/日期
2023-11-17
pdf - 2 MB
版本/日期
2023-11-17
pdf - 2 MB
版本/日期
2018-08-16
pdf - 800 KB

下载

产品注解

产品注解

Product Change Notification A-xxx.*C1

版本/日期
2018-08-02
pdf - 71 KB
English

数据表

数据表

数据表A-311

版本/日期
2023-11-17
pdf - 2 MB
版本/日期
2023-11-17
pdf - 2 MB
版本/日期
2018-08-16
pdf - 800 KB

文件

文件

User Manual A311D0002

版本/日期
2.0 2021-11-11
pdf - 955 KB
English
文件

用户使用手册A311D0001

PIglide IS:XY平面空气轴承平台

版本/日期
1.5 2019-01-28
pdf - 1 MB
English

3D模型

3D模型

3-D模型A-311

版本/日期
2021-11-12
zip - 15 MB

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A-311.AA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,100毫米 × 100微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
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PIglideISPlanarscanner,空气轴承,100毫米 × 100微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
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PIglideISPlanarscanner,空气轴承,150毫米 × 150微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
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PIglideISPlanarscanner,空气轴承,150毫米 × 150微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.CA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,200毫米 × 200微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
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PIglideISPlanarscanner,空气轴承,200毫米 × 200微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
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PIglideISPlanarscanner,空气轴承,50毫米 × 50微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
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PIglideISPlanarscanner,空气轴承,50毫米 × 50微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏

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