A-121.050A1
PIglideAT1线性平台，空气轴承，50毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
A-121 带空气轴承的PIglideAT1线性平台
高性能小落地面积纳米级定位平台
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 运动平台的尺寸115 毫米×115 毫米
- 行程达350毫米
- 低外形最小为60 毫米
- 分辨率达1纳米
A-121，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。
A-121 带空气轴承的PIglideAT1线性平台
产品描述
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产品概述
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度。带预载的空气轴承构造支持任意方向上的安装。
附件和可选配件
- 编码器
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 多轴运动控制器和直接驱动器
- XY装置和个性化配置
- 电缆轨道变型
- 用于垂直组装的平衡配件
- 花岗岩底座板和隔振系统
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
规格
规格
定位 | A-121.xxxA | A-121.xxxB |
|---|---|---|
集成传感器 | 增量线性编码器 | 绝对线性编码器 |
传感器信号 | 正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期 | BiSS-C |
传感器分辨率 | 4.88纳米(3) | 1纳米 |
双向重复性 | ±0.25微米 | ±0.25微米 |
定位精度，未校准(4) | A-121.050：± 1.5微米 A-121.100：± 1.5微米 A-121.150：± 1.5微米 A-121.200：± 2.0微米 A-121.250：± 2.0微米 A-121.350：± 3.0微米 | A-121.050：± 1.5微米 A-121.100：± 1.5微米 A-121.150：± 1.5微米 A-121.200：± 1.5微米 A-121.250：± 1.5微米 A-121.350：± 1.5微米 |
定位精度，已校准(4) | A-121.050：± 0.5微米 A-121.100：± 0.5微米 A-121.150：± 0.5微米 A-121.200：± 0.5微米 A-121.250：± 0.5微米 A-121.350：± 0.5微米 | A-121.050：± 0.5微米 A-121.100：± 0.5微米 A-121.150：± 0.5微米 A-121.200：± 0.5微米 A-121.250：± 0.5微米 A-121.350：± 0.5微米 |
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定4096x插值。有关其他因子的使用，请联系PI。
(4)通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移的长期影响。
(5)为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
(6)假定空气轴承工作压力为70磅/平方英寸（480千帕）。
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产品注解
产品注解
Product Change Notification A-xxx.*C1
版本/日期
2018-08-02
pdf - 71 KB
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数据表
文件
文件
用户使用手册A121D0001
A-121 PIglide AT1系列线性空气轴承平台、由编码器反馈驱动的线性电机
版本/日期
2021-05-17
pdf - 1,020 KB
English
3D模型
3D模型
A-121 3-D模型
版本/日期
2018-03-15
zip - 12 MB
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A-121.050B1
PIglideAT1线性平台，空气轴承，50毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT1线性平台，空气轴承，150毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT1线性平台，空气轴承，150毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT1线性平台，空气轴承，200毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT1线性平台，空气轴承，200毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT1线性平台，空气轴承，250毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
A-121.250B1
PIglideAT1线性平台，空气轴承，250毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT1线性平台，空气轴承，350毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无铁芯三相线性电机，48伏
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PIglideAT1线性平台，空气轴承，350毫米行程，带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
