HPS-170 用于重负载的高精度线性平台
优异的重复精度和运动精度
- 行程范围为52至205毫米(2至8")
- 最大速度高达100毫米/秒
- 负载能力达35千克
- 可选配线性编码器用于直接位置测量
参考级线性平台
交叉滚柱导轨带来高运动精度和负载能力。精密滚珠丝杠。应力消除铝基座可实现高稳定性。机械限位开关。
驱动器类型
- 电机轴上带旋转编码器的闭环直流伺服电机
- 2相步进电机可实现高转矩(即使低速时)和高分辨率
增量编码器用于高精度位置测量
非接触式光学线性编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨,滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。
最小位移
结合SMC Hydra控制器,带步进电机和集成线性编码器的版本可在传感器分辨率范围内实现可重复的最小位移。同样的配置可实现几传感器增量每秒的恒定低速。
应用领域
样本检验, 半导体技术, 计量, 激光打标, 真空
规格
规格
规格
626291x00 | 626291x10 | 626292x00 | 626292x10-0001 | 单位 | 公差 | |
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带直流电机和旋转编码器的线性平台 | 附带线性编码器 | 带步进电机的线性平台 | 附带线性编码器 | |||
主动轴 | X | X | ||||
运动和定位 | ||||||
行程 | 52 / 102 / 155 / 205 | 52 / 102 / 155 / 205 | 毫米 | |||
集成传感器 | 旋转编码器 | 旋转编码器 线性编码器 | – | 线性编码器 | ||
传感器信号旋转编码器 | A/B正交,RS-422 | A/B正交,RS-422 | – | |||
传感器信号线性编码器 | – | A/B正交,RS-422 | – | 正弦/余弦,1伏峰峰值, 20微米信号周期 | ||
设计分辨率 | 0.1 | 0.05 | 10(全步) | 0.005 | 微米 | |
传感器分辨率 旋转编码器 | 20000 | 20000 | – | 步/圈 | ||
传感器分辨率 线性编码器 | – | 0.05 | – | – | 微米 | 典型值 |
最小位移 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.05 | 微米 | 典型值 |
单向重复精度 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.05 | 微米 | 典型值 |
双向重复性 | ±2 | ±0.2 | ±2 | ±0.05 | 微米 | 典型值 |
螺距 | ±20 / ±25 / ±30 / ±35 | ±20 / ±25 / ±30 / ±35 | ±20 / ±25 / ±30 / ±35 | ±20 / ±25 / ±30 / ±35 | 微弧度 | 典型值 |
偏转角 | ±40 | ±40 | ±40 | ±40 | 微弧度 | 典型值 |
直线度/平面度 | ±0.75 / ±1 / ±2 / ±3 | ±0.75 / ±1 / ±2 / ±3 | ±0.75 / ±1 / ±2 / ±3 | ±0.75 / ±1 / ±2 / ±3 | 微米 | 典型值 |
最大速度 | 100 | 100 | 35 | 35 | 毫米/秒 | |
机械特性 | ||||||
导向类型 | 带防蠕动系统的交叉滚柱导轨 | 带防蠕动系统的交叉滚柱导轨 | 带防蠕动系统的交叉滚柱导轨 | 带防蠕动系统的交叉滚柱导轨 | ||
传动螺杆类型 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | 滚珠丝杠 | ||
丝杠螺距 | 2 | 2 | 2 | 2 | 毫米 | |
负载容量 | 350 | 350 | 350 | 350 | 牛 | 最大 |
推拉力 | 100 | 100 | 150 | 150 | 牛 | 最大 |
保持力 | 20 | 20 | 60 | 60 | 牛 | 最大 |
可允许的侧向力 | 150 | 150 | 150 | 150 | 牛 | 最大 |
θX向上的允许力矩Mx | 400 | 400 | 400 | 400 | 牛米 | 最大 |
θY向上的允许力矩My | 300 | 300 | 300 | 300 | 牛米 | 最大 |
θZ向上的允许力矩Mz | 300 | 300 | 300 | 300 | 牛米 | 最大 |
驱动特性 | ||||||
电机类型 | 直流电机 | 直流电机 | 两相步进电机 | 两相步进电机 | ||
工作电压,标称值 | 24 | 24 | 24 | 24 | 伏 | 标称 |
工作电压,最大值 | 48 | 48 | 48 | 48 | 伏 | 标称 |
峰值电流,均方根 | 3.8 | 3.8 | 1.2 | 1.2 | 安 | 典型值 |
力矩常数,均方根 | 0.03 | 0.03 | 牛米/安 | 典型值 | ||
电气时间常数 | 6 | 6 | 毫秒 | |||
相间电阻 | 0.62 | 0.62 | 3.3 | 3.3 | 欧姆 | 典型值 |
相间电感 | 0.13 | 0.13 | 2.8 | 2.8 | 毫亨 | 典型值 |
相间反电动势 | 0.00349 | 0.00349 | 伏/千转每分钟 | 最大 | ||
限位开关 | 机械 | 机械 | 机械 | 机械 | ||
其他 | ||||||
工作温度范围 | 5 到 40 | 5 到 40 | 5 到 40 | 5 到 40 | °C | |
MTBF | 10000 | 10000 | – | – | 小时 | |
材料 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | 铝、钢 | ||
质量 | 5.1 / 5.8 / 6.6 / 7.5 | 5.1 / 5.8 / 6.6 / 7.5 | 5 / 5.7 / 6.5 / 7.4 | 5 / 5.7 / 6.5 / 7.4 | 千克 | ±5 % |
移动质量 | 1.1 | 1.4 | 1.1 | 1.4 | ||
连接 | Sub-D 15针(公头) | 电机:Sub-D 15针(公头) 传感器:Sub-D 9针(公头) | Sub-D 15针(公头) | 电机:Sub-D 15针(公头) 传感器:Sub-D 9针(公头) | ||
*推荐控制器: | 带C-863.AD12线路驱动器的C-863(单轴) 带C-863.AD12线路驱动器的C-884(多达6轴) 带C-863.20C885(达40轴)和C-863.AD12线路驱动器的C-885 ACS模块化控制器 | 带C-863.AD12线路驱动器的C-863(单轴) 带C-863.AD12线路驱动器的C-884(多达6轴) 带C-863.20C885(达40轴)和C-863.AD12线路驱动器的C-885 ACS模块化控制器 | C-663.12单轴 SMC Hydra(双轴) 带C-663.12C885的C-885(多达20轴) ACS模块化控制器 | C-663.12单轴 SMC Hydra(双轴) 带C-663.12C885的C-885(多达20轴) ACS模块化控制器 |
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