线性压电柔性铰链平台

PI的纳米定位平台和扫描器将纳米级精度分辨率和导向精度与最小串扰相结合。这使得其特别适用于计量学中的参考应用、微观过程、干涉测量或半导体芯片生产的检测系统。

带PICMA®压电陶瓷促动器驱动器和柔性铰链导向的线性压电平台可供货,行程长达1.5毫米。