多轴压电柔性铰链平台

PI多轴压电陶瓷柔性铰链平台可在多达六轴上实现亚纳米级精度的定位和扫描,包括倾斜和偏转角运动。版本涵盖最紧凑的立方体设计到大孔径和低规格。

XYZ扫描仪是定位技术的全能者。应用包括样本调整、技术、光学计量、光纤定位和光子学以及原子力显微镜。

所有压电陶瓷纳米定位系统均已通过工厂校准,测量日志随产品交付。

XYZ向紧凑型压电管

P-616 NanoCube纳米定位器

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型并联运动压电系统

P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统

带孔径的XYZ向压电陶瓷平台

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XYZ扫描仪

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

用于多达3轴的高精度纳米定位系统

P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器

压电柔性铰链Z向/偏摆平台

P-518 • P-528 Piezo Z/Tip/Tilt Stage

High Dynamics with Large Aperture

6轴压电平台

P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统

六自由度高精度纳米定位系统