电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
主动轴
X、Y、Z
X, Y
集成传感器
电容式
-250至+250伏时X、Y向上的开环行程
±3
微米
-250至+250伏时Z向上的开环行程
±2.7
-
X、Y向上的闭环行程
±2.5
Z向上的闭环行程
分辨率，开环*
0.03
纳米
分辨率，闭环
0.1
线性误差
0.05
%
重复精度**
1
X、Y向上的螺距/偏转角
0.5
微弧度
Z向运动时的倾斜
0.2
X、Y向上的直线度
3
X、Y向上的平面度
<10
X、Y向上的串扰（Z向运动）
5
X、Y向上的空载谐振频率
3.1
4.2
千赫兹
Z向上的空载谐振频率
9.8
带负载时X、Y向上的谐振频率
1.5 (20 克)
2.1 (20 克)
负载容量
10
牛
陶瓷类型
PICA, PICA Shear
PICA Shear
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
钛金属
尺寸
30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米
30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米
质量
225
190
克
电缆长度
1.5
米
传感器/电压连接
Sub-D24W7（公头）
推荐电控
E-536
P-363 Positioner
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认真处理、充足空间：PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备，同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。
来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
数字技术为提高不存在于传统模拟技术的控制工程的性能开辟了可能性。
电容传感器是最苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。
