专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
主动轴
X，Y，Z，θX，θY，θZ
集成传感器
电容式
X、Y向上的闭环行程
800
微米
Z向上的闭环行程
200
θX、θY向上的闭环偏摆角
±0.5
毫弧度
θZ向上的闭环偏摆角
X、Y向上的开环/闭环分辨率
0.9 / 2.2
纳米
典型值
Z向上的开环/闭环分辨率
0.4 / 0.7
θX、θY向上的开环/闭环分辨率
0.05 / 0.1
微弧度
θZ向上的开环/闭环分辨率
0.1 / 0.3
X、Y和Z向上的线性误差
0.01
%
θX、θY、Z向上的线性误差
0.1
X、Y向上的重复精度
±3
Z向上的重复精度
±2
θX、θY向上的重复精度
±0.1
θZ向上的重复精度
±0.15
平面度
<15
X/Y/Z向上的刚性
0.55 / 0.55 / 1.35
牛/微米
X/Y/Z向上的空载谐振频率
103 / 103 / 235
赫兹
±20 %
带500克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
88 / 88 / 175
带2000克负载时X/Y/Z向上的谐振频率
65 / 65 / 118
负载能力*
5
千克
最大
陶瓷类型
PICMA
X/Y/Z向上的电容
81 / 81 / 18.4
微法
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝
尺寸
240 毫米 × 240 毫米 × 50 毫米
质量
7.2
±5 %
电缆长度
3.0
米
±10 毫米
传感器/电压连接
2 × Sub-D 25W3（公头）
推荐电控
E-712
具有电容传感器的P-587.6CD六轴纳米级定位系统
P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。所有线上有货的产品均可直接订购。
通过电子邮件或电话从当地PI销售工程师处快速获取解答。
利用多层促动器的专利制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命
认真处理、充足空间：PI不仅具有验定材料、部件和最终产品的必要设备，同时也具有高真空和超高真空定位系统方面的多年经验。
来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
数字技术为提高不存在于传统模拟技术的控制工程的性能开辟了可能性。
电容传感器是最苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
